Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9176040 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9176040
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Vertical MLD AlO/HfO furnace, 12"
Process capability: Al203 and Hf02
Software revision: 6.10R001 (latest version)
Control type: Waves
Com module version: G607R01-A9990000
Dual FOUPS
(16) FOUP Stackers
Options: N2 Load lock, Low temp heater
Includes:
Cabinets / Units / Controllers:
Furnace cabinet
Power supply unit
Control unit
Main controller (WAVES)
Temperature controller
Cassette and wafer handling automation:
Auto tube shutter
Boat elevator with boat rotation mechanism
Wafer load automation
Load port system
Cassette load automation
(16) FOUP Stackers
MLD AlO/HfO Specific option:
Integrated gas system for AlO/HfO process:
Purge N2 gas line
Vaporizer unit for TMA precursor
Vaporizer unit for TEMAH precursor
Ozonizer unit
N2 Load lock:
O2 Density monitor in the loading area
N2 Gas system
Low temperature heater (VMM-56-104)
Vacuum foreline configuration with stainless steel manifold
2nd Gas Box
Set of AlO/HfO quartzware
System options:
Ionizer
UPS
Gas detectors:
TMA
O3
HCL
TEMAH
Octane
Includes:
Manuals
Currently installed
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein vielseitiges Ätz-/Ascherinstrument zur Herstellung von Halbleitern. Es wurde entwickelt, um eine ausgezeichnete Substratplanarität und ausgezeichnete Formwiederholbarkeit beim Ätzen und Aschen zu gewährleisten. TEL INDY B L verwendet eine einzigartige elektrochemische Ätzausrüstung, die Ätz- und Ascheraten genau steuert. Dieses System verwendet einen Stromversorgungskasten zur Steuerung der Stromdichte und eine Flüssigkeitsstandserfassungseinrichtung zur Aufrechterhaltung eines konstanten Flüssigkeitsspiegels während des Ätz-/Aschevorgangs. Dadurch bietet TOKYO ELECTRON INDY B-L überlegene Ätz- und Ascheausbeuten. INDY B-L verfügt auch über eine eingebaute Kühleinheit, die schnellere Ätzraten sowie ein robustes Design bietet, um eine hervorragende Langlebigkeit der Ausrüstung zu gewährleisten. TEL INDY B-L verfügt zudem über eine Lastschloßkammer, die eine präzise Steuerung der Substrattemperatur beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Die Kammer sorgt auch für eine präzise Mikroreinigung des Substrats, beseitigt Verunreinigungen und ermöglicht eine verbesserte Frische des Substrats für Ätz- und Ascheprozesse. INDY B L verfügt über eine fortschrittliche Vakuum-Maschine, die tiefes Submikron-Ätzen ermöglicht. Dieses Tool sorgt auch dafür, dass Ätz- und Ascheraten genau eingehalten werden, was zu einer effizienteren Prozesskontrolle führt. Darüber hinaus erleichtert TOKYO ELECTRON Indy-B-L die Abscheidung einheitlicher Reagenzien auf dem Substrat und trägt zu einer verbesserten Prozessausbeute beim Ätzen und Aschen bei. TEL Indy-B-L enthält auch einen eingebauten Partikellader, mit dem das Substrat schnell und präzise in die Ätz-/Aschermaschine geladen werden kann. Der Lader ermöglicht eine schnelle Vakuumbildung und ermöglicht schnellere Ätz- und Ascheprozesse. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON INDY B L über eine fortschrittliche automatische elektrochemische Mischanlage, die eine präzise Steuerung von Ätz- und Ascheraten gewährleistet. Dieses Modell hält bei Ätz- und Ascheprozessen einen pH-Wert genau ein und sorgt für optimale Reaktionsgeschwindigkeiten zwischen dem Substrat und den Reagenzien. Insgesamt ist Indy-B-L ein fortschrittliches Etch/Asher-Instrument, das ausgezeichnete Ätz- und Ascheerträge bietet. Das einzigartige Design, die präzise Steuerung und die effizienten Be- und Entladefunktionen machen es zu einer idealen Lösung für die Herstellung von Halbleitern.
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