Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9235796 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer, auch als Ascher bekannt, der zur mikroelektronischen Herstellung verwendet wird. Es ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung, die qualitativ hochwertige Gerätestrukturen mit präzisen Geometrien herstellen kann. Es verfügt über eine hohe Durchsatzfähigkeit zur Verarbeitung dünner oder dicker Substrate mit einer breiten Palette von Prozesschemien. TEL INDY B L ist mit einer CVD-Kammer ausgestattet, die das genaue und präzise Ätzen von Oxiden und Nitriden ermöglicht. Das System ist für eine Vielzahl von Substraten wie dünne Folien, Siliziumscheiben und starre Platten konzipiert. TOKYO ELECTRON INDY B-L verfügt über eine fortschrittliche Benutzeroberfläche mit einem intuitiven Sieben-Zoll-LCD-Touchscreen, mit dem Benutzer schnell und einfach Prozessrezepte eingeben können. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine hochzuverlässige Gleismaschine, die eine genaue Waferübertragung gewährleistet. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L eignet sich für Ätzanwendungen wie chemisch-mechanisches Polieren (CMP), flache Grabenisolierung (STI) und Metallgatterätzen. Das Werkzeug kann Vias und Gräben unterschiedlicher Breite und Tiefe sowie geätzte Linienbreiten bis zu 0,2 Mikrometer verarbeiten. Darüber hinaus enthält TEL INDY B-L Hochleistungsplasmen, die durch eine HF ICP (Inductively Coupled Plasma) -Quelle mit Ausgängen von 100 W bis 1,2 kW erzeugt werden. Darüber hinaus verfügt INDY B L über ein Multi-Zone-Asset, das verschiedene Materialien in verschiedenen Zonen verarbeiten und dabei optimierte Prozessparameter verwenden soll. Es kommt auch mit einem Vier-Kammer-Bearbeitungsmodell für Zweikammer-Chargenätzen. Die Anlage verfügt über ein optimiertes Gasversorgungs- und Abgabesystem, das eine schnelle Abgabe von Prozesschemien ermöglicht und kürzere Verarbeitungszeiten zur Folge hat. TOKYO ELECTRON Indy-B-L verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen für den Bediener und die Produktionssicherheit. Es ist mit einer Reihe von Monitoren und Sensoren wie Druck, Temperatur, Durchfluss und Maske Temperaturüberwachung, sowie eine Kammer Drucküberwachung ausgestattet, um Prozessstabilität zu gewährleisten. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L mit einer speziellen ESD-Einheit (Electro Static Discharge) ausgestattet, die Schaltungen vor ESD-induzierten Schäden schützt. Abschließend ist TEL Indy-B-L eine hochentwickelte Ätzmaschine mit einer ausgezeichneten Benutzeroberfläche, breiter Substratkompatibilität, variablen Plasmaausgängen und robusten Sicherheitsmerkmalen. Es ist ideal für mikroelektronische Ätzanwendungen wie CMP, STI und Metall-Gate-Ätzen und kann präzise Gerätestrukturen mit Genauigkeiten bis zu 0,2 Mikrometer erzeugen.