Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9244878 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Es wird hauptsächlich für Rückenschleifen, Kegelätzen, topographische Verarbeitung, Rückenabstandsätzen und andere kritische Anwendungen verwendet. Es kann für verschiedene Verdünnungsprozesse eines Halbleiterwafers wie TEM/FIB-Probenvorbereitung, Probenschleifen, Rückseitenabstandhalterätzen, Oberflächenmustern, Hinterende der Zeilenbearbeitung und andere verwendet werden. Die Maschine verfügt über hohe Präzision, großen doppelten Arbeitsbereich und schnelle Ätzzeit. TEL INDY B L etcher/asher ist mit einem Cascading Charts of Dry Etching ausgestattet, ein vollautomatisierter Prozess, der von TEL entwickelt wurde. Dieser Prozess bietet eine überlegene Prozesssteuerung, verbesserte Flexibilität und Kosteneinsparungen. Darüber hinaus ist es mit einem integrierten Prozessüberwachungssystem ausgestattet, das sicherstellt, dass alle Prozesse unter optimalen Bedingungen laufen. Dieses System überwacht den Druck, die Temperatur, die Ätzrate und das Timing, um einen optimalen Zustand aufrechtzuerhalten. TOKYO ELECTRON INDY B-L ist mit einem geräumigen Arbeitsbereich konzipiert, der genügend Raum für eine einfache Manipulation von Wafern während des Ätzprozesses bietet. Der große Arbeitsbereich wurde so konzipiert, dass der Bediener die Wafer während des Ätzprozesses leicht bewegen oder einstellen kann. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, große Substrate mit einem maximalen In-Plane-Maß von 500 mm x 500 mm zu verarbeiten. Die Hochgeschwindigkeitsätzfunktionen von TEL INDY B-L machen es für die Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten und Anwendungen geeignet. Beispielsweise ist es in der Lage, mehrere Proben gleichzeitig für Anwendungen mit hohem Durchsatz zu verarbeiten. Es verfügt auch über eine lasergestützte Ätzfunktion, die in der Lage ist, Sub30-nm-Merkmalstiefen zu verarbeiten, sowie die Ausgabe detaillierter Wafer-Karten, die zur Lokalisierung von Defekten und zur Verfolgung der Prozessleistung verwendet werden können. TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie einem vollständig geschlossenen Edelstahlarbeitsraum und einem Staubsammelsystem konzipiert. Dadurch wird eine saubere und sichere Arbeitsumgebung für Ätzprozesse gewährleistet. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Vielzahl von Ätzgasregelungsmerkmalen wie einem Durchflussmesser, einem statischen Druckwächter und einem Temperaturwächter ausgelegt. Alles in allem wurde INDY B L entwickelt, um eine überlegene Ätzleistung für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie zu bieten. Es ist in der Lage, hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision und zuverlässige Ätzprozesse mit allen notwendigen Sicherheitsvorkehrungen zu bieten. Darüber hinaus eignet sich die automatisierte Prozesssteuerung für Anwendungen mit hohem Durchsatz.