Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9270215 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer/Ascher für den Einsatz in der fortgeschrittenen Halbleiterverarbeitung. Sie ist in der Lage, Photoresist auf Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll präzise zu ätzen und zu belichten. TEL INDY B L verwendet einen hochreinen, kalten Prozess, Plasmaätzprozess mit einem niederdruckverdampften Ätzprozess, um hochauflösende Muster in fortgeschrittenen Halbleitermaterialien zu erzeugen. Der Ätzprozess von TOKYO ELECTRON INDY B-L nutzt einen proprietären Hochdruckätzprozess, der in sich geschlossen ist und eine minimale Kontamination zur Folge hat. Der Ätzer verwendet fortschrittliche Einspritzsysteme für hochreine Ätzgase und Reaktionsgase, um niedrigen Plasmadruck und qualitativ hochwertige Ätzprozesse aufrechtzuerhalten. TEL INDY B-L verwendet fortschrittliche Gasinjektionssysteme, um Plasmaparameter zu steuern und eine sehr homogene Plasmaverteilung zu gewährleisten und den Aufbau von Reaktionsprodukten zu verhindern. Mit dieser Ausrüstung können auch Ätzrezepte präzise gesteuert und auf eine Reihe von Waferstrukturen und -materialien abgestimmt werden. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L ist sehr vielseitig und kann eine Vielzahl von Materialien wie Silizide, Nitride, Oxide und Karbide verarbeiten. Es hat auch eine breite Palette von konfigurierbaren Ätzkammergrößen und Substraten für mehrere Arten von Wafern. Es ist auch in der Lage, komplexe Strukturen wie Vias, Kontakte, Linien und Gräben in jeder Form und Tiefe zu ätzen. Die Maschine kann auch Strukturen mit hohem Aspektverhältnis wie Gateoxidschichten handhaben. INDY B-L bietet auch eine Reihe verschiedener Steuerungsmöglichkeiten wie Load Lock-Geräte zur Steuerung des Wafer-Be- und Entladens und ein Wafer-Baffle-System zur Steuerung des Plasmastroms. Es enthält auch eine CHCV-Steuereinheit, die den Kammerdruck und die Ätzraten automatisch einstellt, und eine Roll-Out-Kammertür für einen einfachen Zugang zum Austausch von Teilen. Der Ätzer verfügt über eine Echtzeit-Temperaturregelmaschine, mit der Wafertemperaturen überwacht und optimale Ätzbedingungen gewährleistet werden können. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der exzellente Ätzergebnisse und präzise Musterbildung liefert. INDY B L ist in der Lage, empfindliche und komplexe Strukturen mit hoher Auflösung und geringer Kontamination zu ätzen. Mit seinem vielseitigen Funktionsumfang und der automatisierten Steuerung ist TOKYO ELECTRON INDY B L eine ideale Wahl für alle anspruchsvollen Halbleiterverarbeitungsanforderungen.