Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394496 zu verkaufen

TEL (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L) ist ein Ätzer/Ascher zur Halbleiterherstellung. Es ist in der Lage, bis zu 100 Wafer gleichzeitig chargenweise zu verarbeiten und ist sehr zuverlässig und zuverlässig. TEL INDY B L kommt mit einer Vielzahl von Ätzprozessen und Anwendungen, von flachen Grabenätzen, tiefen reaktiven Ionenätzen (DRIE), bis zu Dampfätzen. Der Ätzprozess wird mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) mit variabler Frequenz und Phase zur Optimierung von Ätzgleichmäßigkeit, Selektivität und Ätzrate durchgeführt. TOKYO ELECTRON INDY B-L verfügt auch über automatisierte Wafer-Handlinge für Nassätz- und Trockenverarbeitungsanwendungen, einschließlich Spinspültrocknung und Waferausrichtung. Die Maschine ist mit einer hochgenauen Endpunktdetektionsausrüstung zur genauen Endpunktdetektion und einem Endpunkt-Post-Scrub-System ausgestattet, das höhere Prozesserträge ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, verschiedene Arten von Reaktionsgefäßen für alle Ätzprozesse sicher und präzise zu handhaben. TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist mit aktiven und passiven Sicherheitssystemen ausgestattet, um ein Höchstmaß an Benutzersicherheit zu gewährleisten und die Umwelt zu schützen. Die Maschine bietet eine breite Palette von programmierbaren Alarmen und Sicherheitssensoren, wie Not-Aus-Tasten, um unsichere Situationen zu erkennen. Um konsistente und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten, ist INDY B L für eine umfassende Prozess- und Einheitenüberwachung ausgelegt. Die Bordcomputermaschine überwacht ständig die Prozessbedingungen, einschließlich Druck, Temperatur und anderen Parametern. Die Maschine verfügt auch über ein automatisches Korrekturwerkzeug, um Parameter bei Bedarf für eine verbesserte Prozesssteuerung automatisch anzupassen. INDY B-L ist aufgrund seiner hohen Qualität und zuverlässigen Leistung die ideale Wahl für die Halbleiterherstellung, sowohl für die Nieder- als auch für die Hochserienproduktion. Die Maschine ist für einfache Wartung und schnelle Reinigung ausgelegt, um Ausfallzeiten zu minimieren und den Gesamtdurchsatz zu erhöhen.