Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394500 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9394500
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Furnace, 12" Plasma Assisted Process (PAC) Module Gases: N2O NH3 SiH2Cl2 SiH4 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist eine leistungsstarke und präzise Nassätzung/Asche. Dieses Gerät ist ein Semi-Batch-Nassätzgerät, das für eine präzise Kontrolle über Ätzzeiten und -lösungen ausgelegt ist. Es ist eine vollautomatisierte Maschine, die präzise chemische Lösungen und präzise Kontrolle über Parameter wie Ätzgeschwindigkeit und Ätzrate ermöglicht. Mit der automatisierten Anpassung der Parameter kann TEL INDY B L präzise Ätzergebnisse auf Mikrometer-Genauigkeit liefern. Es ist ideal für oberflächentechnische Anwendungen wie Waferbearbeitung, Substratreinigung sowie Photomasken-Abrieb. TOKYO ELECTRON INDY B-L ist vollautomatisiert und erfordert eine minimale Benutzerinteraktion. Es ist mit einem Top-Down-Sichtprüfsystem ausgestattet, das Präzision und Genauigkeit während des Ätzprozesses bietet. Diese Einheit ermöglicht es dem Benutzer auch, einen bestimmten Bereich zu ätzen und eine Vorschau der Endergebnisse zu erzeugen, bevor er die eigentliche Ätzung durchführt. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L kann mit einer Reihe von Ätzlösungen wie Fluorkohlenwasserstoffen, Waschmittellösungen und hochverdampfenden Lösungen konfiguriert werden. Die Maschine ermöglicht es dem Anwender auch, zwischen Hochtemperatur-, Tieftemperatur- und Langtemperaturätzen zu wählen. TEL Indy-B-L ist mit einem Zweikammerwerkzeug ausgestattet, das eine mehrstufige Ätzung ermöglicht. Dies bedeutet, dass der Benutzer verschiedene Substrate mit den gleichen Parametern ätzen kann und ihnen erlaubt, von der ersten zur zweiten Kammer unterschiedliche Ätztechnologien zu betreiben. Die Anlage ist auch mit einer Vielzahl von Ätzanschlüssen konzipiert, die von kleinen bis großen und dünnen bis dicken Substraten reichen. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale von TOKYO ELECTRON INDY B L machen es zu einer idealen Wahl für das Nassätzen empfindlicher Wafer und Substrate. Es umfasst Drucksensoren, Temperatursensoren und Füllstandssensoren, um die Werkzeuge und die Benutzer zu schützen. Außerdem hat es eine Reihe von failover Erholungsfunktionen, wie Nothalt, Temperaturkontrolle und Hochgeschwindigkeitsantiverunreinigungskontrolle. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L ein leistungsstarkes und präzises Nassätzwerkzeug, das auf Genauigkeit und Sicherheit ausgelegt ist. Seine automatisierten Funktionen, Präzisionskontrolle und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für Oberflächentechnik und Photomasken-Abriebanwendungen.
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