Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394957 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist eine Ätz- und Aschemaschine mit fortschrittlicher Technologie zur genauen und effizienten Strukturierung von Wafersubstraten. Dieses System wurde entwickelt, um die Fähigkeiten von Ätz- und Ascheprozessen, insbesondere in der Halbleiterherstellung, zu maximieren. Mit Hilfe dedizierter Systeme für jeden der Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht TEL INDY B L die präzise Optimierung von Ätzparametern, wie Vergasungsdrücken und Kammertemperaturen, während die Entfernung von Targets von Substraten optimiert wird. Dadurch ergibt sich eine verbesserte Substratausbeute und Schaltungssicherheit. Die Einheit weist einen Gaskasten auf, der innerhalb eines optimalen Druckbereichs für jedes der Betriebsgase arbeitet und zur Sicherung einer gleichmäßigen Gasverteilung für eine verbesserte Ätzselektivität beiträgt. TOKYO ELECTRON INDY B-L ist auch mit dedizierten Elektrodennetzteilen ausgestattet, die für stabile, gleichmäßige Ausgänge für eine verbesserte Plasmagleichförmigkeit ausgelegt sind. Dadurch wird eine präzise Steuerung des Ätzens durch Feineinstellung des Gasdrucks erreicht, wodurch genaue, gleichmäßige Ergebnisse erzielt werden können. Darüber hinaus verhindert ein Lastverriegelungsmechanismus die Vermischung von Ätz- und Spülgasen und ermöglicht gleichzeitig eine einfache und bequeme Waferbelastung. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L profitiert auch von einer integrierten fortschrittlichen Steuerungsmaschine, die für eine präzise Temperaturregelung und Gasverteilung während jedes Prozesses konzipiert wurde. Dies hilft, den Durchsatz von Wafern zu maximieren und gleichzeitig eine einheitliche Endpunktsteuerung für verbesserte Ergebnisse zu ermöglichen. Ein beschichteter Kammerinnenraum trägt auch dazu bei, Verunreinigungen beim Ätzen zu verhindern, wodurch potentielle Vorrichtungen nachgegeben werden. Darüber hinaus wurde in TOKYO ELECTRON INDY B L ein Resist-Stripping-Tool integriert, das eine effiziente Entfernung unerwünschter Kohlenstoffreste von Substraten ermöglicht. Dies führt zu verbesserten Produktausbeuten und -funktionalität bei gleichzeitiger Reduzierung des Einsatzes gefährlicher Chemikalien. Abschließend stellt TEL Indy-B-L Asset anspruchsvolle Ätz- und Aschefunktionen bereit, die den Anforderungen der modernen, hochpräzisen Waferindustrie gerecht werden. Dieses Modell bietet eine Reihe von Funktionen, die die Fähigkeiten von Ätz- und Ascheprozessen verbessern, was zu verbesserten Erträgen und Zuverlässigkeit der Schaltung führt.