Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394959 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein SI Multi-Wafer, hoher Durchsatz, Chargenverarbeitungsätzer/Ascher mit einer maximalen Wafergröße von 75 mm. Dieses hochtechnologische System bietet hervorragende Leistung in verschiedenen Ätz-/Ascheprozessen wie MEMS, SOI, Spannungsentlastung, anisotrope und Kupferplattierungsanwendungen. Dieses Gerät verfügt über eine eigene Verriegelungssteuerungsmaschine und einen PID-gesteuerten HF-Generator zur effizienten Verwaltung von Energie- und Druckeinstellungen während der Prozessschritte. Es ist mit einem HMI (Human-Machine Interface) ausgestattet, das die Einstellung von Einstellungen, die Überwachung von Prozessparametern und den Zugriff auf relevante Prozessinformationen ermöglicht. Der HF-Generator von TEL INDY B L bietet eine präzise Regelung von Leistung, Druck und Frequenz und ermöglicht extrem genaue und wiederholbare Ätz-/Ascheprozesse. Dieses Tool bietet auch 100 automatisierte Rezepte sowie Datenprotokollierung und Alarmeinstellungen für jeden Prozessschritt. TOKYO ELECTRON INDY B-L hat auch ein Multi-Säulen-Design, das das Laden von mehreren Wafern in die gleiche Schale für eine erhöhte Produktivität ermöglicht. Diese hochmoderne Anlage ist ferner mit einem TEL-eigenen Spatia Process Automation (SPA) -Algorithmus ausgestattet, der die Prozessparameter des Modells für jede Kammer und jeden Wafer genau kalibriert. Dies ermöglicht einen genaueren und wiederholbaren Prozess, indem der Eingriff des Menschen in die Prozeßkontrollparameter reduziert wird. Darüber hinaus trägt der SPA-Algorithmus auch dazu bei, die Möglichkeit menschlicher Fehler und Fehler zu reduzieren. Insgesamt ist TEL INDY B-L eine fortschrittliche Multi-Wafer-Ätz-/Aschemaschine, die extrem genaue, wiederholbare und effiziente Ätz-/Ascheprozesse bietet. Der integrierte HMI, RF-Generator, das Interlock-Steuerungssystem und der SPA-Algorithmus bieten Anwendern alle Werkzeuge, die sie benötigen, um ihre Produktionsprozesse enorm zu verbessern.