Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9395067 zu verkaufen
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ID: 9395067
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Gases: NH3, DCS, (SiGe), C2H4, HF, 20%F2 with N2, TiCl3 Liquid
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer/Ascher, der konsistente, qualitativ hochwertige Ergebnisse für eine breite Palette von Halbleiterverarbeitung liefert. Es ist mit einem 240 mm Standard Pattern Generator (SPG) 4-stufigen Elektroplater ausgestattet und kann mit Upgrades wie einem Waferkühler, einer modularen Sprühkammer und einem Roboterarm angepasst werden. TEL INDY B L verfügt über einen horizontalen Gasstrom und einen Kombinationsprozess von Trocken- und Nassätzen. Dadurch können Anwender bei ihren Ätzprozessen ein höheres Maß an Selektivität sowie eine engere Kontrolle der Dicke der geätzten Schichten erreichen. Das Gerät unterstützt auch eine Vielzahl von Ätzgasen, wodurch mehrere Substrate in einem Schritt geätzt werden können. TOKYO ELECTRON INDY B-L hat auch eine Advanced Control Architecture (ACA), die alle Operationen im Ätzprozess automatisiert. Diese Funktion sorgt für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, während die Bearbeitungszeiten verkürzt werden. Das System bietet Anwendern eine präzise Kontrolle über Prozessparameter und Ausführung. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L nutzt eine Vielzahl von automatisierten Überwachungsfunktionen, um die höchste Qualität Leistung zu gewährleisten. Dazu gehören automatische Gasflussregelung, Impedanzregelung, Druckregelung und Wasserdichtesteuerung. Das Gerät ist auch intuitiveso, dass Benutzer schnell mit seiner Bedienung vertraut werden können. TEL Indy-B-L bietet volle Computersteuerungs- und Datenüberwachungsfunktionen. Es kann bis zu 1.000 Rezepte speichern und kann so programmiert werden, dass es ohne Eingreifen der Bediener stark nachgefragte Ätzprozesse durchführt. Die Maschine bietet Anwendern auch optimierte Lösungen, einschließlich Rezeptsortierung, Tabellenbatching, Lithographie-Suche, kritische Dimensionsanalyse und Standardabweichungsminimierung. Schließlich bietet Indy-B-L eine breite Palette von Sicherheitsfunktionen, darunter ein automatisiertes Brandschutzwerkzeug, ein Stickstoffgasspülgerät und automatische sicherheitsrelevante Warnmeldungen. Diese stellen sicher, dass das Modell korrekt und sicher verwendet wird. All diese Merkmale, gepaart mit seinen umfassenden Service- und Wartungsmöglichkeiten, machen TEL INDY B-L zu einer idealen Wahl für diejenigen, die zuverlässige und qualitativ hochwertige Ätzergebnisse suchen.
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