Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402684 zu verkaufen
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ID: 9402684
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Furnace, 12"
Process: D-Poly deposition
HDD
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die es Anwendern ermöglicht, schnell Wafer und Flachbildschirme zu ätzen und zu waschen. Dieses System verwendet ultrahochpräzise bildgebende Technologien, um konsistente, qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Es verwendet eine Kombination aus einer fortschrittlichen Stufeneinheit, frequenzstabilisiertem Gasstrom, Wäscher und anderen Komponenten, um sicherzustellen, dass Wafer und Flachbildschirme vollständig geätzt und ashed werden. TEL INDY B L Ätzer/Aschermaschine hat zwei Kammern, eine Hauptkammer und eine Abgaskammer. Die Hauptkammer ist mit einer 5-achsigen Abtaststufe ausgestattet, und die Abgaskammer weist einen Gaswäscher auf. Dies kann bis zu 200 mm Durchmesser. Wafer und ist in der Lage, bis zu 99 Schritte gleichzeitig zu verarbeiten. Dieses Werkzeug verwendet eine Druckspektrumsteuerung, die während des Herstellungsprozesses bis zu 32 Druckpunkte innerhalb der Kammer überwacht und auf etwaige Unregelmäßigkeiten einstellt. Dieses Modell verwendet auch frequenzstabilisierte Gasströmung, um die Varianz der Ätz- und Ascheprozesse zu reduzieren. Durch die Stabilisierung des Gasstroms ist die Ätz-/Ascheeinrichtung in der Lage, außergewöhnlich gleichmäßige Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus ist das System so konzipiert, dass es eine GCF (Gas Condensing Flow) -Einheit verwendet, um Schäden durch unebenes Trockenätzen zu reduzieren. TOKYO ELECTRON INDY B-L Ätzer/Ascher Maschine hat mehrere Funktionen, die es ideal für die Verarbeitung von Wafern und Flachbildschirmen machen. Es hat eine einstellbare Drehzahl, und das Werkzeug kann bis zu 384 Antriebe unterstützen. Darüber hinaus verfügt es über eine integrierte Vakuumanlage, die sicherstellt, dass jeder Wafer gleichmäßig den Ätz- und Spülgasen ausgesetzt ist. Dadurch kann TEL Indy-B-L extrem empfindliche Teile problemlos verarbeiten. Insgesamt ist das Modell TEL INDY B-L etcher/asher ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug zum Ätzen und Waschen von Wafern und Flachbildschirmen. Dieses Gerät verfügt über eine fortschrittliche Bildgebungstechnologie und einen frequenzstabilisierten Gasfluss, um hochpräzise Ergebnisse zu erzielen, und seine einstellbare Drehzahl und das integrierte Vakuumsystem machen es gut für empfindliche Teile geeignet.
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