Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402687 zu verkaufen
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ID: 9402687
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Furnace, 12"
Process: N₂O, NH₃, SiH₂Cl₂, SiH₄ deposition
PAC Module
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist eine vielseitige Ätz- und Aschemaschine für industrielle Anwendungen. Es ist in der Lage, höchste Prozesskontrolle und -genauigkeit zu gewährleisten und gleichzeitig einen erhöhten Durchsatz und hervorragende Ergebnisse zu erzielen. TEL INDY B L basiert auf einem kompakten Rahmen, der in einer Vielzahl von Konfigurationen zur Prozesssteuerungsoptimierung einfach zu installieren ist. Es verfügt über ein hochentwickeltes Quarz/Low-e mehrstufiges Vakuumsystem, um eine hervorragende Kontrolle über die Prozessumgebung zu gewährleisten. Dieses robuste System ermöglicht eine präzise Steuerung, um konsistente und stark wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON INDY B-L wird von einer robusten Windows-basierten Befehlsplattform für maximale Zuverlässigkeit, Flexibilität und Kontrolle angetrieben. Es verfügt über wichtige Funktionen wie fortschrittliche Prozessschrittzeitgeber, individuelle Brennertemperaturkontrollen, chargenorientierte Planungssteuerungen und eine Vielzahl von Optionen zur weiteren Verbesserung der Ätzleistung. Zusätzliche Funktionen wie kundenspezifisches Plasma und ISM-Steuerung (Independent Spacing Monitor) bieten Anwendern zudem eine hervorragende Kontrolle über den Ätz- und Ascheprozess. TOKYO ELECTRON INDY B L wird von leistungsstarken fensterbasierten Hardware- und Software-Steueralgorithmen unterstützt, die wiederholbare Ergebnisse liefern. Es unterstützt eine Vielzahl von Prozessvariablen und -parametern, so dass Benutzer ihren Ätz- und Ascheprozess feinabstimmen und optimieren können. Darüber hinaus verwendet es auch mehrere Prozesszonen, Quarzglas-Wafer-Staging und erweiterte Betriebsparameter, um eine konsistente und wiederholbare Leistung über eine breite Palette von Materialien und Substraten zu gewährleisten. Indy-B-L ist ein ideales Ätz- und Aschewerkzeug für den industriellen Einsatz, und seine intuitive und einfach zu bedienende Befehlsplattform, leistungsstarke Software und fortschrittliche Prozesssteuerungen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für verschiedene industrielle Anforderungen. Seine ausgezeichnete Prozesskontrollleistung, konsistente und wiederholbare Ergebnisse bieten Anwendern eine verbesserte Effizienz, Qualität und Rentabilität.
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