Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9412423 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer/Ascher, der eine Art Halbleiterherstellungsanlage ist, die zum Entfernen bestimmter Materialien von einem Werkstück verwendet wird. Es wird hauptsächlich zur Verarbeitung von Siliziumscheiben verwendet, kann aber in einer Reihe von Fertigungsverfahren eingesetzt werden. TEL INDY B L Modell von Ätzer ist ein Resistmuster-Gerät, das Plasmaätzen verwendet, um Materialien wie Siliziumoxid, Siliziumnitrid oder ein anderes dielektrisches Material effizient zu entfernen. Dies geschieht durch Erregung eines inerten Gases wie Chlor, Brom oder Fluor, um ein Plasma zu erzeugen, das Ionen erzeugt, die mit dem Werkstück interagieren, die chemischen Bindungen des Materials aufbrechen und unerwünschtes Material wegätzen. Das Gerät hat eine Blattgröße von 6,2 „x 7,3“, mit einer wiederholbaren Genauigkeit von +/- 0,1 mm. Es ist in der Lage, eine Ätzrate von 1,49µm/min auf Siliziumwafer und 0,76 µm/min auf Quarzsubstraten. Sein Temperaturregelbereich beträgt 25-400 ° C. Das Gerät ist so konfiguriert, dass es eine maximale Temperaturgleichmäßigkeit von +/- 2 ° C und eine Gleichmäßigkeit der Gasverteilung von +/- 10% über das Werkstück ermöglicht. TOKYO ELECTRON INDY B-L ist ebenfalls mit einer Kryopumpstation ausgestattet und hat einen Vakuumregelbereich von 60 - 300 mT und einen Kammerdruck, der auf 10 - 5 mP eingestellt werden kann. Der Kammerdruck ist nach dem Ätzvorgang einstellbar, beispielsweise für einen Tiefätzvorgang ist es erforderlich, einen höheren Druck in der Kammer zu halten. Dank der In-situ-Überwachungsschaltung des Ätzers kann der Ätzvorgang auch in Echtzeit überwacht werden. TOKYO ELECTRON Indy-B-L Ätzer/Ascher ist ein hochentwickeltes und zuverlässiges Gerät, das verwendet wird, um eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Silizium, Quarz, Kupfer und anderen Materialien. Die In-situ-Überwachungsschaltung stellt sicher, dass der Prozess zuverlässig und wiederholbar ist, während seine einstellbaren Druck- und Temperaturfähigkeiten es ermöglichen, in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet zu werden.