Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #293591338 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B ist ein Produktionsätzer/Ascher der nächsten Generation, der entwickelt wurde, um Strukturen und Kontaktlöcher mit hohem Seitenverhältnis mit großer Präzision und Durchsatz zu erstellen. Die Maschine verfügt über einen modularen Aufbau, der es verschiedenen Benutzern ermöglicht, die Maschine an ihre spezifischen Bedürfnisse anzupassen. TEL Indy-B ist mit einer Toshiba 2.2MeV Ionenquelle und einer 1,5 m x 1,0 m großen Bearbeitungskammer ausgestattet, die zusammen ausgezeichnete Durchsatzraten und Ätzraten bieten. Der Ätzer/Ascher bietet auch eine „berührungsfreie“ Verarbeitung, d.h. alle Wafer-Handhabungen beim Ätzen, Aschen und Plasmaprozessen sind berührungslos und verhindern Kratzer oder andere Schäden an empfindlichen Wafern oder Geräten. Die Maschine verwendet auch leistungsstarke, Feedback-gesteuerte Ätz- und Ascheprozesse, die fortschrittliche Echtzeit-Matching-Algorithmen verwenden, um die punktgenaue Genauigkeit der geätzten und ashten Funktionen auch bei hohem Durchsatz zu gewährleisten. Neben seinen leistungsstarken Ätz- und Aschefähigkeiten bietet TOKYO ELECTRON Indy-B auch fortschrittliche Plasmaerzeugungssysteme mit mehreren Elektronenzyklotronresonanzquellen (ECR) und einer Reihe von Gasinjektionsoptiken. Dies ermöglicht die Erzeugung verschiedener Plasmen, von Ultra-Low-Flow-Plasmen für Diffusion und CVD-Schritten, bis hin zu hochdichten Plasmen zum Ätzen und Aschen. Weitere Merkmale des Plasmasystems sind die automatische Frequenzabstimmung, Echtzeit-Gasanpassung und ein entfernter Plasmagenerator. Mit den verschiedenen Funktionen von Indy-B Ätzer/Ascher können Benutzer Strukturen mit hohem Seitenverhältnis, Kontaktlöcher und andere kleine Geräte mit großer Präzision und Durchsatz erstellen. Darüber hinaus sind der modulare Aufbau und leistungsstarke Prozessleitsysteme ein perfektes Werkzeug für fortschrittliche Mikrofabrikationsprozesse.