Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #9390672 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B ist ein Ätz- und Aschesystem, das Halbleiterherstellern eine hochpräzise und zuverlässige kritische Substratverarbeitung bietet. Es verfügt über eine einfach zu erlernende und benutzerfreundliche TEL-Schnittstelle, die benutzerdefinierte Rezepte für verschiedene Prozessanwendungen ermöglicht. TEL Indy-B besteht aus zwei Hauptabschnitten, der Heizung/Mapper und den Bearbeitungskomponenten, die physikalisch verbunden sind. Der Heizer/Mapper ist für die genaue Erwärmung und Kartierung von Wafern verantwortlich, während die Bearbeitungskomponenten die Ätz- und Ascheprozesse durchführen. TOKYO ELECTRON Indy-B verfügt über eine optimierte hochauflösende Flächenzuordnung und einen vollen Wafer-Mapping-Modus. Die Heizung/Mapper bietet nicht nur den Anwendern eine präzise Temperaturregelung, sondern ermöglicht auch die Überwachung ihres präzisen Widerstands und Spannungsniveaus. Es unterstützt auch mehrere Gase, um einen effizienten Gasfluss zu gewährleisten und das Risiko von Bruch oder Defekten zu minimieren. Die Bearbeitungskomponenten von Indy-B unterstützen bis zu fünf Kammern, darunter zwei parallele Ätz- und Aschermaschinen, zwei Einzelwaferaschern und einen Einwaferätzer. Um eine gleichmäßige Verteilung der Wafer zur Verarbeitung zu gewährleisten, verarbeitet TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B Wafer automatisch auf Basis eines Single-Wafer- oder Multiple-Wafer-Rezepts. TEL Indy-B kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm betreiben und bietet Anwendern eine zuverlässige und effiziente Ätz- und Aschelösung. TOKYO ELECTRON Indy-B verfügt auch über erweiterte MEMS-Testfunktionen, mit denen Benutzer die Wirksamkeit von Ätzverfahren an MEMS-Strukturen schnell und genau beurteilen können. Darüber hinaus können Benutzer die umfassende Anwendungssuite von Indy-B verwenden, um Rezepte für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen zu entwickeln, zu programmieren und auszuführen. Dadurch wird sichergestellt, dass Anwender die Flexibilität haben, individuelle Ätz- und Ascherezepte zu entwickeln, um ihren genauen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B ist eine hochentwickelte Ätz- und Aschelösung, die hohe Leistung und Präzision in der kritischen Substratverarbeitung bietet. Seine umfassende Anwendungssuite und umfassende Testfunktionen machen es zur perfekten Wahl für Halbleiterhersteller, die überlegene Ätz- und Reinigungsergebnisse benötigen.