Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293587748 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein Ätzer/Ascher, der sowohl für die Batch- als auch für die Einzelwaferbearbeitung entwickelt wurde. Es verfügt über eine große Bearbeitungskammer, eine Kombination aus einem automatischen Wafer-Zentriermechanismus und einem eingebauten Sensor für Waferdickenmessungen, einer Wafer-Kühleinheit, Ausrichtplatten und Lufteinstelleinheiten. TEL Indy-I-L ist eine All-in-One-Ausrüstung, die eine Vielzahl von Materialien und Prozessen verarbeiten kann und eine Feinabstimmung und einfache Prozessoptimierung ermöglicht. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und die Touchscreen-Steuerung machen TOKYO ELECTRON Indy-I-L für alle Anwender geeignet, unabhängig von ihrem Erfahrungsniveau. Indy-I-L verfügt auch über ein einzigartiges kassettenbasiertes Rezeptsystem, mit dem mehrere Rezepte in derselben Datei gespeichert werden können, was schnelle und effiziente Parameteränderungen ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist mit einer optimierten Einheit von Mehrprozesskanälen ausgestattet, die einen unabhängigen Prozessbetrieb und gleichzeitige Prozesse ermöglicht. Diese Maschine reduziert die Zykluszeit und erhöht Flexibilität und Durchsatz. Zu den vielen Ätzprozessen von TEL Indy-I-L gehören Trockenätzen, Sputterätzen, RIE-Ätzen und chemische Dampfabscheidung. Es ist auch in der Lage, gleichzeitig auf der Vorder- und Rückseite des Wafers zu sputtern. Zum Ätzen können verschiedene Gase, darunter CF4 und Helium, verwendet werden. TOKYO ELECTRON Indy-I-L bietet eine breite Palette von Rezepten, einschließlich Atomschichtätzen, Nanoabdrucklithographie und dielektrischem Ätzen. Indy-I-L wurde mit einem hochmodernen Kühlwerkzeug entwickelt, um hohe Prozessqualität und Stabilität zu erhalten. Seine Hochdruckgasanlage ermöglicht eine präzise Gasflussregelung, während sein fortschrittliches Vakuumsteuermodell für qualitativ hochwertige Ätzprozesse sorgt. Seine leistungsstarke Vakuumquelle sorgt für reduzierte Partikelzahlen, während seine schwimmende Strahlquelle für eine präzise Energieverteilung sorgt. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein großartiger Ätzer/Ascher für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Seine Multiprozessfähigkeit und schnelle Umstellung zwischen verschiedenen Rezepturen machen es zu einer guten Wahl für die Herstellung von hochmodernen Geräten. Die intuitive Touchscreen-Oberfläche, die fortschrittliche Kühlausrüstung und die hochpräzisen Prozesse machen es für die heutigen anspruchsvollen Halbleiteranforderungen gut geeignet.