Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293809896 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE), der mit einem Plasma die Geräteschichten mit genau gesteuerter Ionenenergie, Ionenfluss und Ionenzustand ätzt. Der Ätzprozess ist so konzipiert, dass er die physikalischen Merkmale des Geräts formt und gleichzeitig eine Beschädigung der zugrundeliegenden Struktur vermeidet. TEL Indy-I-L ist eine vertikale Clusterausrüstung, die bis zu 6 Wafer gleichzeitig ätzen kann. Das System ist mit einer Präzisionsstufe zur präzisen Wafer-Positionierung in der Ätzkammer sowie einem HF-Generator zur Hochfrequenz-Leistungsregelung ausgestattet. Die Einheit hat die Fähigkeit, Ätzparameter durch eine logische Steuerung zu steuern und präzise und wiederholbare Ätzergebnisse zu liefern. Sie weist eine obere Elektrode und zwei Sätze von unteren Elektroden auf, die das Plasma in bestimmte Richtungen lenken. Der Ätzprozess kann durch Änderung der Ätzzeit und des HF-Leistungspegels auf die jeweiligen Geräteschichten und Anwendungen abgestimmt werden. TOKYO ELECTRON Indy-I-L Maschine ist für Tieftemperaturätzen konzipiert und für das Ätzen von ultradünnen Stempeln optimiert. Das Tool beinhaltet auch eine schnell reagierende Gasspülung und Gasbehandlungen für verbesserte Ätzselektivität und hochgenaue Ätzprofile. Das Modell kann Schichten aus so dünn wie 0,05 um ätzen, mit einer hohen Genauigkeit in der Tiefenkontrolle und Gleichmäßigkeit des Ätzens über den Wafer. Das Ätzgerät ist in einer Edelstahlkammer eingeschlossen, um die Bedienersicherheit während des Betriebs zu gewährleisten. Die Prozesssteuerung erfolgt über einen eingebauten PC zur Optimierung von Ätzrezepten. Darüber hinaus umfasst das System einen automatischen Waferlader, einen Wafer-Monitor, einen Ionen-Gaze-Monitor und einen Qualitätssicherungssensor. Indy-I-L wurde entwickelt, um eine schnelle Verarbeitung mit hohem Durchsatz zu ermöglichen, wodurch es sowohl für die Forschung als auch für die Produktion geeignet ist.
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