Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394512 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein Ätzer/Ascher für die Halbleitersubstratverarbeitung. Es bietet hohe Leistung beim Ätzen, Abscheiden und Oberflächenbehandlungen. TEL Indy-I-L ist ein flexibles Werkzeug, mit dem der Benutzer aus zahlreichen Rezepten und Produktionsmodi wählen kann, um seine Anforderungen zu erfüllen. TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist mit einer Plasmaquelle mit einer induktiven Koppelplasmaquelle (ICP) ausgestattet. Diese Quelle bietet eine hohe Ätzrate und Gleichmäßigkeit auch bei sehr hoher Seitenverhältnisstruktur. Das Tool verfügt außerdem über zwei Wandler und ein Anti Vibration System (AV®) -Design für hervorragende Leistung. Die Kammer ist auch mit einem effizienten Wärmetauscher für schnelle Heizung und Kühlung ausgestattet, um Zykluszeiten zu reduzieren. Indy-I-L verfügt über ein intuitives benutzerfreundliches Bedienfeld, das die Bedienung des Geräts vereinfacht. Der Benutzer kann Ätzparameter in der Software über den passwortgeschützten Zugriff einstellen. Dies vereinfacht den Prozess und bietet eine sichere Möglichkeit, Ätzrezepte zu speichern. Die Software enthält auch eine integrierte Datenbank und Dokumentation zur Unterstützung der Rezeptentwicklung. Zum Ätzen unterstützt TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L eine breite Palette von Ätzchemien, darunter Hochdichteplasma (HDPET), Sauerstoff (O2), Schwefelhexafluorid (SF6) und Tetrafluormethan (CF4). Das Werkzeug unterstützt auch eine Reihe von Reaktantgasen wie Stickstoff (N2), Wasserstoff (H2) und Argon (Ar). TEL Indy-I-L verfügt zudem über eine hohe Gleichmäßigkeit des Ätzens, die Feingeometrien und kritische Musterprozesse ermöglicht. Für die Abscheidung verfügt TOKYO ELECTRON Indy-I-L über eine Direktplattierungstechnologie (DIP), die eine hochfrequente, gleichmäßige Dünnschichtabscheidung ermöglicht. Das Werkzeug hat auch die Fähigkeit, ionenunterstützte Abscheidung (IAD) und Niederdruck-chemische Dampfabscheidung (LPCVD) durchzuführen. Indy-I-L ist auch mit einem fortschrittlichen Wafer Transfer System (WTS) für die sichere und schnelle Übertragung von Wafern ausgestattet. Dieses effiziente Wafer-Handling-System beseitigt mögliche Schäden und Verschmutzungen beim Transfer. Insgesamt bietet TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L Stabilität, Genauigkeit und Wiederholbarkeit in der Halbleitersubstratverarbeitung. Es ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug, das eine breite Palette von Ätz- und Abscheidungstechniken und Wafer-Handhabungssystemen unterstützt. Es ist eine ideale Wahl für komplizierte Halbleitersubstratverarbeitungsvoraussetzungen.