Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394514 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein Ätzer/Ascher, der Musterlösungen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bereitstellt. Es ist eine hocheffiziente, automatisierte Short Pulse Asher (SPA) -Ausrüstung, die eine Elektronenstrahl-Optik verwendet, um hochdimensionale Genauigkeitsmuster auf Halbleitersubstraten zu erstellen. Es eignet sich für die Herstellung komplexer Geräte, die eine hohe Auflösung erfordern, wie Logik, DRAM und anwendungsspezifische integrierte Schaltungen (ASICs). TEL Indy-I-L ist mit einer Vielzahl von Quellen, Strahltransportkomponenten und Prozesswerkzeugen ausgestattet, die eine mehrschichtige Belichtung in einem einzigen System ermöglichen. Es hat einen Strahlcodierungssensor mit einer statischen Positionsgenauigkeit von weniger als 1,5 Mikrometer. Es enthält auch eine Belichtungssteuereinheit, die entworfen ist, um ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit über gemusterte Merkmale zu erhalten. Was die Quelle betrifft, so ist sie mit einem 25 kW hohen Magnetron ausgestattet, das Laserlicht kurzer Pulsdauer von wenigen Pikosekunden bis zu wenigen Mikrosekunden liefern kann. Zusätzlich zur Elektronbalkenaussetzungskontrollmaschine ELEKTRON VON TOKIO zeigt Indy-I-L in - situ Gaslieferwerkzeug für das Ätzen und die Ashing-Prozesse. Diese Anlage besteht aus einer Gasversorgungsleitung, einem Abgasmodell und einem Druckregler, der eine Feinabstimmung der Prozessleistung ermöglicht. Darüber hinaus ist es mit zwei unabhängigen integrierten Trockenätzkammern ausgestattet, die eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Aschen und Abscheiden der Seitenwandpassivierungsschicht ermöglichen. Indy-I-L enthält auch einen Prozesssteuerungscomputer und eine Software, mit der die Geräteparameter überwacht und eingestellt werden können. Diese Software ermöglicht eine Variation des Gas- und Plasma-Tastverhältnisses sowie der Belichtungsdosis. Der Computer ist auch mit einer Vielzahl von Rezepten vorprogrammiert, die verwendet werden können, um Daten zwischen verschiedenen Systemen auf der Produktionslinie zu speichern und zu übertragen. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein effizienter, zuverlässiger Ätzer/Ascher, der für alle Stufen der Herstellung von Halbleiterbauelementen gut geeignet ist. Es hat die Fähigkeit, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen durchzuführen, und ist in der Lage, komplexe Geometrie mit einer hohen Genauigkeit zu strukturieren. Seine benutzerfreundliche Schnittstelle ermöglicht eine einfache Bedienung und sein Hochleistungs-Magnetron- und Gasliefersystem ermöglichen eine überlegene Leistung.