Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394962 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L
ID: 9394962
Wafergröße: 12"
Furnace, 12" LT ALD SiN.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein Ätzer/Ascher, der eine kompakte und kostengünstige Lösung für Gas und physikalisches Ätzen bietet. Es wurde entwickelt, um ein hohes Maß an Flexibilität und Vielseitigkeit zu bieten und ist in der Lage, ein breites Spektrum von Ätzaufgaben zu bewältigen, einschließlich des Ätzens von Polymeren, Dielektrika, Metallen und anderen Materialien. Die Maschine kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm verarbeiten und ist somit ideal für kleine bis mittlere Produktionsabläufe geeignet. Der primäre Ätzprozess von TEL Indy-I-L erfolgt mit einem speziellen Gas namens Chlor. Die Maschine ist mit zwei Einspritzdüsen ausgebildet, die das Gas in die Ätzkammer einspritzen, um einen präzisen Druck zu erzeugen. Dadurch wird ein gleichmäßiges Ätzen des angestrebten Materials von allen Seiten des Wafers erreicht. Die Ätzparameter wie Druck, Temperatur und Timing lassen sich über eine PC-basierte Benutzeroberfläche präzise einstellen und bieten dem Anwender vielfältige Ätzmöglichkeiten. Das Ätzverfahren kann auch mit physikalischen Ätzverfahren wie Schleifsputtern und Laserätzen ergänzt werden. Beispielsweise ermöglicht das Schleifsputtern das Entfernen einer organischen Oberflächenschicht von Metalloberflächen, während das Laserätzen ein präzises Ätzen von Gruben, Löchern und Schaltungsmustern ermöglicht. TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist auch mit einer speziellen Quarzheizung ausgestattet, mit der Wafer nach dem Ätzen getrocknet werden können. Indy-I-L ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmechanismen ausgestattet, um die Sicherheit von Bedienern und Geräten bei unvorhergesehenen Ereignissen wie einem Ionisationsereignis oder einem Gasleck zu gewährleisten. Die Maschine ist auch mit einem hochempfindlichen Sensor ausgestattet, der Änderungen der Ätzbedingungen erkennt. Wenn Änderungen auftreten, löst der Sensor eine automatische Abschaltung aus, sodass die Operatoren geeignete Maßnahmen ergreifen können. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ein ausgezeichneter Ätzer und Ascher für eine Vielzahl von Materialien. Es bietet Flexibilität und Vielseitigkeit, präzise Kontrolle über Ätzparameter und mehrere Sicherheitsmechanismen - alles zu einem kostengünstigen Preis. TEL Indy-I-L ist eine zuverlässige und effektive Wahl für kleine bis mittlere Produktionsabläufe.
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