Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394964 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON INDY-I-L ist ein mittlerer Durchsatz, Multi-Plattform-Ätzer und Ascher. Es kann für eine breite Palette von Materialien verwendet werden, einschließlich Metalle, Si, Verbindungen und Dielektrika. Seine Anwendung umfasst Waferreinigung, Ablagerungen und Ätzen. Es ist sehr vielseitig und anpassungsfähig, so dass Benutzer dreidimensionales Winkelätzen und rückseitiges Aschen verwenden können. TEL Indy-I-L verwendet 230mm, 300 mm und 450mm Waferdurchmesser und ist somit für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet. Es ist mit drei elektromagnetischen Ventilkanal-passenden Aktuator (EVMA) -Baugruppen ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit der Verarbeitung ermöglichen. Eine langlebige Plasmaquelle gewährleistet eine optimale Leistung für verschiedene Arten von Materialabscheidungs- und Ätzprozessen. Die eingebaute Kammertemperatur-Regeleinrichtung ermöglicht ein breites Spektrum von Ätztemperaturen und sorgt für präzises Ätzen. TOKYO ELECTRON Indy-I-L enthält auch ein Hochtemperaturabscheidungssystem, das zu schnellen Hochtemperaturprozessen wie SiGe/Si-Abscheidung und Hochtemperatur-LPCVD fähig ist. Diese Funktion wird durch eine elektromagnetische Pumpe unterstützt, die eine beeindruckende Gleichmäßigkeit beibehält. Nicht nur das, der Ätzer/Ascher verfügt auch über eine Stickstoffkaskadeneinheit, die dafür sorgt, dass Novacuum-Gas isolierte und saubere Kammern realisiert werden. Indy-I-L ist auch in Sachen Sicherheit funktionsreich. Es ist mit einer Sicherheitsschutzfunktion ausgestattet, die die Kammer vor und nach jeder Operation reinigen wird, um das höchste erreichbare Sicherheitsniveau zu gewährleisten. Die Maschine verwendet auch einen eingebauten Not-Aus-Knopf, der die Maschine im Notfall sofort stoppt. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L sowohl in Bezug auf Betrieb als auch Wartung flexibel. Seine Benutzeroberfläche ist mit einem Touchpanel, einem grafischen Menü und Cloud-Speicherfunktionen ausgestattet, mit denen Benutzer Einstellungen und Rezepte speichern können, wodurch die Bedienung und Wartung erheblich vereinfacht und vereinfacht wird. Insgesamt ist TEL Indy-I-L ein idealer Ätzer/Ascher für diejenigen, die hohe Präzision, großen Durchsatz und vielseitige Ätz-/Ascheprozesse benötigen. Es ist robust und bietet die Präzision und Sicherheit, die Benutzer benötigen. Es ist auch äußerst benutzerfreundlich, so dass Benutzer schnell auf eine Vielzahl von Ätz- und Ashing-Anwendungen reagieren können.