Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9402690 zu verkaufen
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ID: 9402690
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Furnace, 12"
Process: NH₃, DCS, SiGe, C₂H₄, TiCl₃ Liquid deposition, 20% F₂ / N₂ Cleaning
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher, der von TEL entworfen und entwickelt wurde. Dieser Ätzer ist speziell für das Hochdurchsatz-Plasmaätzen einer Vielzahl von Substraten, einschließlich mehrschichtiger Halbleiterbauelemente, Dielektrika und Metalle, ausgelegt. TEL Indy-I-L ist ein voll integrierter Ätzer mit einer hochauflösenden automatischen Ausrichtausrüstung, einem Hochgeschwindigkeits-Probentragroboter und fortschrittlichen Plasmaquellen zum Plasmaätzen von Substraten und Folien. TOKYO ELECTRON Indy-I-L wurde entwickelt, um eine hohe Ätzrate und Selektivität über eine breite Palette von Filmen und Substraten zu liefern, wodurch der Ätzer für die Herstellung von Geräten mit hoher Genauigkeit und Gleichmäßigkeit verwendet werden kann. Der Hochgeschwindigkeits-Musterroboter ermöglicht die schnelle und präzise Bearbeitung großer Substrate mit unterschiedlichen Geometrien, während das automatisierte Ausrichtsystem eine präzise Mustererkennung und Substratregistrierung gewährleistet. Diese Einheit verfügt auch über eine fortschrittliche Plasmaquelle, die in der Lage ist, eine breite Palette von Ätzleistungen und Gasen mit einem hohen Grad an Kontrolle zu liefern. Die fortschrittliche Prozesskontroll- und Diagnosemaschine von Indy-I-L ermöglicht die Echtzeit-Überwachung von Ätzprozessparametern, einschließlich Plasmatemperatur, Druck, Leistung und Gasdurchflussraten. Damit können Ingenieure Ätzparameter präzise steuern und Parameter bei Bedarf sofort anpassen, um qualitativ hochwertigste Ätzprozesse zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L ist auch vollständig mit Simulationswerkzeugen kompatibel, sodass Ingenieure Ätzprozesse vor der eigentlichen Bearbeitung testen und simulieren können. Dadurch wird sichergestellt, dass Ingenieure über die erforderlichen Daten und Informationen verfügen, um die Leistung des Ätzprozesses zu maximieren. TEL Indy-I-L ist eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller und Forschungslabore, die Hochdurchsatz-Ätzprozesse benötigen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, Flexibilität und Kompatibilität machen TOKYO ELECTRON Indy-I-L zu einer ausgezeichneten Wahl für fortgeschrittene Forschung und Geräteherstellung.
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