Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293591864 zu verkaufen
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ID: 293591864
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Furnace, 12"
Process: Low temperature nitride
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für die Halbleiterproduktion optimiert ist. Es ist in der Lage, verschiedene Arten von Substraten zu verarbeiten, von den dünnsten dielektrischen Schichten bis zu den dicksten Metallschichten, unter Beibehaltung ausgezeichneter Präzision mit kleineren Musterabmessungen. Die einfach zu bedienende und flexible Konstruktion der Maschine macht sie ideal für die fortschrittliche Prozessentwicklung und die Serienproduktion. Eines der wichtigsten Merkmale von TEL Indy Plus-A-M ist die Rapid Process Development (RPD) Technologie. Die Geräte sind in der Lage, schnell geätzte Bearbeitungszeiten zu erzielen, so dass Anwender schnell optimierte Ätzprozesse entwickeln können. Der Ätzer bietet auch eine hohe Präzisionskontrolle über Ätzprozessparameter, was zu reproduzierbaren wiederholbaren Ergebnissen führt. Es bietet auch mehrere Techniken, um die Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit des Films zu optimieren. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M verfügt auch über fortschrittliche Vakuumtechnologie für vakuumbasierte Ätzanwendungen. Das System verfügt über eine hohe Vakuumdruckfähigkeit von bis zu 5x10-2 mbar, wodurch selbst dünnste Materialschichten geätzt werden können. Darüber hinaus minimiert die fortschrittliche Vakuumtechnologie die Gasdiffusion und hält die erforderlichen niedrigen Ätztemperaturen aufrecht, was für den erfolgreichen Ätzprozess wichtig ist. Neben hervorragenden Ätzergebnissen ist das Gerät auch mit fortschrittlichen Sicherheitssystemen ausgestattet, wie der fortschrittlichen automatischen Be- und Entlademaschine, die eine sichere und effiziente Handhabung von Substraten gewährleistet. Alle Werkzeugparameter, einschließlich Temperatur und Druck, können bei Bedarf einfach überwacht und angepasst werden. Dies reduziert das Risiko von Fehlern und liefert hervorragende Ätzergebnisse. Darüber hinaus ist Indy Plus-A-M sehr zuverlässig und bietet Leistungskonstanz durch lange Produktionsläufe. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ein zuverlässiger und hochpräziser Ätzer/Ascher, der für die Halbleiterproduktion optimiert ist. Seine robusten Eigenschaften fördern eine schnelle Prozessentwicklung, eine hohe Präzisionskontrolle und eine hervorragende Folieneinheitlichkeit und Reproduzierbarkeit für erfolgreiche Produktionsläufe. Die fortschrittlichen Sicherheitssysteme gewährleisten eine sichere Handhabung und die normale Leistungskonsistenz der Anlage machen sie zu einer großen Wahl für die anspruchsvolle Umgebung der Halbleiterproduktion.
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