Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293622680 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ist ein chemischer Ätzer und Ascher von TEL Ltd., einem Hersteller und globalen Distributor von Halbleiterherstellungsgeräten. TEL Indy Plus-A-M wurde entwickelt, um Chargenätz- und Aschedienste für verschiedene Materialien wie Oxid, Nitrid, Metalle und Polymere anzubieten. Das System bietet volle Wafer-zu-Wafer-Prozesssteuerung über eine intuitive Benutzeroberfläche mit einem fortschrittlichen computergesteuerten Controller und Robotik. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ist mit drei Kammern und sechs Prozessmodulen sowie einer zusätzlichen Gasverteilerplatte ausgestattet. Die erste Kammer ist die Ätzkammer, die dazu dient, unerwünschtes Material wegzuätzen und Merkmale mit Säuren, Basen oder reaktiven Gasen zu schärfen. Die zweite Kammer ist die Aschekammer, die mit Sauerstoff oder Stickstoff-Plasma dünne Materialschichten schnell entfernt, so dass eine schnellere Verarbeitung und eine konsistentere Verarbeitung möglich ist. Die dritte Kammer ist ein Pumpenmodul, das verwendet wird, um den Fluss von Chemikalien und Gasen sorgfältig zu steuern und hilft, die Atmosphäre und die Substratintegrität des Systems zu erhalten. Der interne computergesteuerte Regler von Indy Plus-A-M regelt Temperatur und Druck sowie andere Betriebsparameter für genaue, wiederholbare und sichere Ergebnisse. Der Roboterarm ermöglicht eine präzise Bewegung und Platzierung des zu bearbeitenden Substrats, was einen maximalen Durchsatz und minimale Ausfallzeiten ermöglicht. Das System bietet auch verschiedene Rezepte, so dass es für eine Reihe von Anwendungen geeignet. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, darunter Silizium, III-V, Polymere und Metalle. Es ist in den Ausführungen mini (375 mm), mid (450 mm) und max (525 mm) erhältlich und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 5,25 Zoll aufnehmen. TEL Indy Plus-A-M verfügt auch über einen adaptiven Prozessmonitor, der Ätz- und Ascheparameter automatisch anpasst, um mögliche Ungleichmäßigkeiten, die während der Verarbeitung auftreten können, zu beseitigen. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ist ein zuverlässiger, vielseitiger Ätzer und Ascher, der Kunden einen enormen Wert bietet, die hochdichte Substrate mit konsistenten Ergebnissen ätzen und aschen müssen. Es bietet eine breite Palette von Verarbeitungsoptionen, die an die Bedürfnisse seiner Kunden angepasst werden können, und wird von TOKYO ELECTRON einem großen Netzwerk kompetenter Kundendienstmitarbeiter unterstützt.