Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293637640 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ist ein von TEL (TOKYO ELECTRON) entwickeltes Plasmaätz- und Ausrüstungsgerät, das in der Halbleiter- und MEMS/NANO-Verarbeitung eingesetzt wird. TEL Indy Plus-A-M ist ein Plasmaätzsystem, das ein qualitativ hochwertiges Ätzen von extrem schmalen und feinen Geometrien bei hoher Präzision und Durchsatz ermöglicht. Es wird hauptsächlich in der Halbleiterverarbeitung, Photomaskenherstellung und MEMS/NANO-Geräteanwendungen verwendet. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M hat eine Standard-6-Zoll-und 8-Zoll-Chargen- oder Cluster-Ätzkammer für Batch, planar oder isotrope Ätzung. Eine neue Version ist auch in einem größeren 12-Zoll-Wafer für größere Wafergrößen erhältlich. Die Kammer ist für hohe Produktivität mit überlegener Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und geringer Partikelverschmutzung ausgelegt. Die leistungsstarke Prozesssteuerung und das intelligente Design ermöglichen einen schnellen Wechsel von einem Prozess zum anderen. Die Prozesssteuerungsmaschine ermöglicht auch Echtzeitanpassungen, um optimale Prozessbedingungen für verschiedene Materialarten zu gewährleisten. Indy Plus-A-M verfügt über den Premium TEL/TOKYO ELECTRON Etch Module (TEM) Controller, der an Bord erweiterte Vielseitigkeits- und Steuerungsoptionen bietet. Es unterstützt eine breite Palette von Ätzrezepten, einschließlich planare lineare und anisotrope Ätzrezepte. Das TEM bietet extreme Präzision über die Leistung, den Druck und die Anpassung von Ätzparametern, während es mehrere Ätzrezepte und Simulationsausläufer unterstützt. Das TEM verarbeitet sowohl Si Etch- als auch SiN-Ätzrezepte und das integrierte Tool bietet eine überlegene Profilsteuerung und kritische Ätzsicherheit. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M verfügt auch über 3D-Plasma-Analysefunktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, Ätzgleichmäßigkeit und Prozessbedingungen in Echtzeit zu überwachen. Es verfügt auch über ein integriertes Diagnosemodul, das eine schnelle Überwachung und Anpassung von Prozessparametern ermöglicht. Das Asset verfügt außerdem über ein Edge-Bias-Modul, das die Ätzergebnisse für verschiedene Materialtypen optimiert. TEL Indy Plus-A-M unterstützt auch Endanwender mit seinem spezialisierten Software Development Kit (SDK), das eine individuelle Anpassung und die Entwicklung benutzerspezifischer Anwendungen für die Geräteherstellung ermöglicht. Dieses SDK bietet die Flexibilität, benutzerdefinierte Rezepte und Prozesse in das TEL Etch Modul zu integrieren, um Präzision und vollständige Kontrolle über den Ätzprozess zu gewährleisten. Abschließend ist TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ein fortschrittlicher Ätzer, der Anwendern hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz ermöglicht und gleichzeitig eine breite Palette von Ätzrezepten und Prozessoptionen unterstützt. Mit seiner intuitiven Bedienung, dem integrierten Prozesssteuerungsmodell und dem flexiblen SDK ist Indy Plus-A-M ein unverzichtbares Werkzeug für viele Anwendungen der Halbleiter- und MEMS/NANO-Fertigung.