Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293656320 zu verkaufen
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ID: 293656320
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
Furnace, 12"
Process: Low-temperature nitride
Maximum operating temperature: 850°C
N2 Load lock
Wafer type: 300 Si semi STD-Notch
(100) Production wafers
(2) Boat type / (2) boat operation (B/S)
Loading area light: White (LED)
O2 Density control N2 LL
N2 Boat shower wafer cooling
ENTEGRIS F300-2005- 17UT1502
Carrier type: FOUP 25 slots
Edge grip W/T type
VMM-56-306C Mid temperature
Top furnace exhaust connection point
Bottom cooling water connection point
FUJIKIN IGS
Tubing bends: Bend (Less than 90°)
IGS Final filter
CKD IGS Regulator
HITACHI Digital
IGS Press transducer: Nagano
HITACHI AS102S-A HCD SCCM
MKS Capacitance manometer
Press monitor
Pump monitor
Main valve: CKD-VEC
Power box top
Vacuum exhaust system, 4"
Piping trap
CKD-VEC Vacuum pressure control
Quartz material: Electric fused
Quartz inner/outer tube material
Internal T/C: Process tube interior wall type
Tube sealing: N2 Purge and O-Ring seal
Manifold heater
Switch valve for manifold cool
QUARTZ Boat material
117-Slots Ladder (8mm pitch)
Two quartz fins are welded at the bottom
Cap heater
QUARTZ Pedestal type
Shutter purge type
Power supply:
3-Phase connection type: Star connection
Single phase connection: Grounded
Single phase voltage: 120 VAC
3-Phase voltage: 480 VAC
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M ist ein hochmodernes 3D-Ätz-/Aschewerkzeug. Es verfügt über ein robustes Design, überlegene Ätz- und Aschepräzision und Genauigkeit und wurde entwickelt, um den Anforderungen der heutigen Halbleiterausrüster gerecht zu werden. Mit TEL Indy Plus-A-M können Anwender Wafer mit weniger Prozessvariation und kürzeren Zykluszeiten ätzen und waschen. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M eignet sich für verschiedene Ätz- und Ascheanwendungen sowie für fortgeschrittenes Dotieren, Schichtübertragung, Glühprozesse und Dickfilmätzen. Das Werkzeug ist mit einem LOBOTRON™ (Laser Optical Beam Optical Tron) plus Mechanized Reflector (MR) ausgestattet. Mit einem LOBOTRON™ kann Indy Plus-A-M durch sein robustes Design Ätz-/Aschefehler mit verminderter Laserfokussierung durchführen. Darüber hinaus ist dank der MR-Technologie eine direkte Verarbeitung (z.B. hohe Seitenverhältnisätzung/-veraschung) bei geringer Prozessvariabilität erreichbar. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich der Fähigkeit, Wafer bis zu 5 µm für Ultra-High-Aspect-Ratio-Prozesse und bis zu 9 mm für Anwendungen mit hohem Durchsatz zu verarbeiten. Es kann auch mit wiederholbaren und robusten Ätzen/Aschen auf verschiedenen Arten von Metallen, Kunststoff-und Oxidmaterialien, sowie kristalline/nicht-amorphe Materialien. TEL Indy Plus-A-M wurde entwickelt, um die Herstellungskosten zu senken und die Produktivität zu verbessern. Die CLC-Funktion (Closed-Loop Control) bietet eine genaue Ätz-/Ascheleistung für eine langfristige Wiederholbarkeit. Sie gewährleistet zudem eine gleichbleibende Produktqualität, indem sie Echtzeit-Feedback der Prozessparameter liefert. Darüber hinaus tragen die automatisierten Vorkonditionierungsfunktionen dazu bei, die Ätzzeiten unter Beibehaltung der gewünschten Prozessendpunkte zu verkürzen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M eine ideale Lösung für Anwender, die fortschrittliche Ätz- und Ascheprozesse mit niedrigen Betriebskosten benötigen. Dank der benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche, der Erschwinglichkeit und der integrierten Sicherheitsfunktionen ist das Tool das perfekte Werkzeug für die heutige Halbleiterindustrie. Es ist ideal für Hersteller, die ihren Produktionsertrag steigern, Abfall reduzieren und die Produktqualität verbessern möchten.
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