Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293818865 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist ein Ätzer/Ascher, der für die Substratverarbeitung während der Halbleiterherstellung verwendet wird. Diese Maschine besteht aus zwei Bearbeitungskammern, die durch ein Schieberventil getrennt sind. Die obere Kammer enthält das Ausgangsmaterial und die untere Kammer enthält eine Vielzahl von Technologien, die miteinander verbunden sind, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Die obere Kammer besteht aus einem Gasvorhangeinlaß, einer Materialdispergiereinheit und einem linearen Schlitzduschkopf. Der Gasvorhang ist in der Lage, mehrere Gase einschließlich Argon, Stickstoff oder Sauerstoff mit hoher Geschwindigkeit auf das abgegebene Material einzuleiten, wodurch eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Schichtdicke erreicht wird. Die Dispergiereinheit gibt das Ausgangsmaterial über eine Reihe von zweidimensionalen Dispergierplatten auf das Substrat ab. Der lineare Spaltduschkopf nutzt eine Kombination aus thermischer Diffusion, Beschleunigung und präziser Bewegungssteuerung, um eine gleichmäßige Beschichtungsschicht zu erreichen. Die untere Kammer enthält ein hochauflösendes Laserinterferometer, das eine hohe Präzision und Genauigkeit bei der Steuerung der Bewegung des Substrats ermöglicht. Die Kammer ist auch mit einem fortgeschrittenen Roboterarm ausgestattet, der das Substrat automatisch in gewünschte Positionen schwenken und bewegen kann. Dieser Arm kann auch das Substrat zum und vom Ofen übertragen, wo Temperaturen bis 1000 ° C verwendet werden können, um das Substrat bei Bedarf zu erwärmen. TEL TELINDY Plus enthält außerdem eine Ladestation und eine elektrische Mehrpunkt-Prüfvorrichtung. Diese Ladestation ermöglicht die Einleitung und Evakuierung der Gase aus dem Inneren der Kammer, ohne den atmosphärischen Druck zu verändern. Die elektrische Mehrpunkt-Prüfvorrichtung liefert elektrische Standardtests wie Dotierstoffpegel, Geräteintegrität und elektrische Strommessungen. Dieser Ätzer/Ascher hat eine ausgezeichnete Betriebskontrollfähigkeit und ist in der Lage, eine Vielzahl von Gasfluss, Temperatur, Druck, Bewegung und Leistung. Es ist auch in der Lage, die Substratposition und die genaue Abscheidung zu steuern, so dass das Substrat während der Verarbeitung flach bleibt. Diese Maschine ist ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und wird aufgrund ihrer Zuverlässigkeit und Genauigkeit geschätzt.