Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643271 zu verkaufen
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ID: 293643271
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Furnace, 12"
Process: MDZrOX
KAWASAKI W/T Robot
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein mittelgroßer Chargenätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um umfassende Ätz- und Aschelösungen anzubieten. Dieser Mehrstationsätzer/Ascher bietet integrierte Lösungen für physikalische und chemische Ätz-/Ascheprozesse, sodass Anwender bis zu 6 Substrate gleichzeitig verarbeiten können. Dadurch können Anwender den Durchsatz, die Qualität und die Genauigkeit verbessern und konsistente Ergebnisse mit wiederholbarer Leistung im Laufe der Zeit liefern und gleichzeitig Ausfallzeiten reduzieren. Dieser etcher / asher tritt durch das Angebot einer breiten Reihe von Eigenschaften, wie Hochleistungsreaktionsbeschleunigung, genaue Kontrolle über etching/ashing Bedingungen und fortgeschrittene Anlageüberwachung hervor. Alle benutzerfreundlichen Funktionen sind über die intuitive Benutzeroberfläche des Touchscreen-LCD-Monitors verfügbar. Dieses benutzerfreundliche System ermöglicht es dem Bediener, die Laufparameter eines Ätz-/Ascheprozesses einfach zu ändern, mit schrittweisen Anweisungen zur einfachen Einstellung und Optimierung des Ätz-/Ascherezepts. TEL INDY PLUS B-M bietet darüber hinaus eine überlegene Prozessflexibilität mit einer Vielzahl von Gasquellen und Gasströmen für unterschiedliche Ätz-/Ascheprozesse. Mit der AutostopTM-Funktion können die Ätz-/Aschevorgänge nach Abschluss der eingestellten Prozesszeit oder nach Erreichen eines gewünschten Endpunktes automatisch gestoppt werden. So können Anwender ihre Ätz-/Ascheerträge maximieren, ohne ihre Prozessbedingungen manuell überwachen und anpassen zu müssen. Darüber hinaus gewährleistet das fortschrittliche Temperaturkontrollsystem zuverlässige und gleichmäßige Ätz-/Ascheraten und minimiert gleichzeitig die Menge der weggeworfenen Proben. Dieser Ätzer/Ascher wurde mit größter Sicherheit und Hygiene entworfen. Mit eingebauten Sicherheitsverriegelungen und fortschrittlichen Sensoren ist TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M in der Lage, Störungen im Ätz-/Ascheprozess sicher zu erkennen sowie chemische Leckagen und Abgasemissionen zu überwachen und zu steuern. Darüber hinaus minimiert sein Kreislaufsystem das Risiko von Luftkontaminationen, und sein automatischer Reinigungszyklus sorgt für einen sauberen und kontaminationsfreien Arbeitsplatz. Abschließend ist TEL INDY PLUS B M eine ausgezeichnete Wahl für mittelgroße Chargenätz- und/oder Ascheprozesse. Dieser fortschrittliche Ätzer/Asher bietet erweiterte Funktionen, mit denen Benutzer optimierte Prozessparameter für ihre Ätz-/Ashing-Anforderungen festlegen können, während seine integrierten Sicherheitsfunktionen einen sicheren und zuverlässigen Betrieb garantieren. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, flexiblen Prozessoptionen und einem überlegenen Sicherheitsdesign ein ideales Ätz-/Aschewerkzeug für anspruchsvollste Forschungs- und Industrieanwendungen.
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