Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643274 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M
Verkauft
ID: 293643274
Furnace, 12" Process: HfOx Load lock system KAWASAKI W/T Robot 2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein Ätzer/Ascher, der für Halbleiterherstellungsprozesse zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und -bauelementen entwickelt wurde. Es ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der zu einer Vielzahl von Prozessen wie Ionenätzen, Wolframätzen, chemischer Dampfabscheidung (CVD), schnellem thermischem Glühen (RTA) und anderen fortschrittlichen Verfahren für die Geräteherstellung fähig ist. Der Ätzer/Ascher ist mit einem hochzuverlässigen dielektrischen Membranätzer, einem elektrostatischen Spannfutter und einer gekühlten Kühleinheit ausgestattet. Diese Kombination ermöglicht eine optimale Wirksamkeit beim Ätzen und Glühen von Halbleiterbauelementen und -bauelementen. TEL INDY PLUS B-M verfügt über eine große Kammergröße und hohe Dichte Ätzfähigkeit, die bis zu 20 Wafer pro Freigabe verarbeiten kann. Der Ätzer/Ascher ist mit einer integrierten Smart Process Control ausgestattet, die den Prozess automatisiert und die Konsistenz in der Produktion gewährleistet. Die Smart Process Control ermöglicht es Benutzern auch, die Geräte in Echtzeit zu überwachen, wodurch Ätz- und Glühprozessparameter überwacht werden können. Darüber hinaus kann TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M in einer Vielzahl von Temperaturbereichen eingesetzt werden, wodurch es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. INDY PLUS-B-M ist mit einer rationalisierten und intuitiven Benutzeroberfläche konzipiert, mit der Benutzer die Ätz- und Glühprozesse einfach navigieren können. Es ist auch mit einem fortschrittlichen Diagnosesystem ausgestattet, das Anomalien identifizieren und Probleme diagnostizieren kann, die während des Ätz- oder Glühprozesses auftreten können. Das Gerät ist mit einer Datenbank zur Speicherung von Rezepten für den Ätz- oder Glühprozess und zur Speicherung von Testergebnissen zu Vergleichszwecken ausgestattet. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M verfügt über mehrere Ionenquellen, die sich in der Nähe des Kammereingangs befinden und leicht für spezifische Ätz- und Glühanwendungen eingesetzt werden können. Der Ätzer/Ascher verfügt auch über eine fortschrittliche Sicherheitsmaschine, um die Sicherheit der Bediener zu gewährleisten und zu verhindern, dass Unfälle auftreten. Darüber hinaus ist der Ätzer/Ascher auch mit einer automatischen Werkzeugkalibrierung ausgestattet, die die Inspektions- und Kalibriersoftware auf die verschiedenen Parameter ausrichtet, die für die korrekte Verarbeitung unterschiedlichster Materialien erforderlich sind. Insgesamt ist INDY PLUS B-M ein zuverlässiger, hochpräziser Ätzer/Ascher, der für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Es bietet einen schnellen und effizienten Prozess zum Ätzen, Wolframätzen, CVD, RTA und anderen fortschrittlichen Verfahren für die Geräteherstellung. Die große Kammergröße und die hohe Dichte der Ätzfähigkeit in Kombination mit der eingebauten Smart Process Control machen es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet. Darüber hinaus ist die Anlage mit fortschrittlicher Diagnose, Datenspeicherung und automatischer Modellkalibrierung ausgestattet, was sie zu einer zuverlässigen Wahl für jeden Halbleiterherstellungsprozess macht.
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