Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643277 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M Etcher/Asher ist ein nasser Bankätzer und Ascher für Back-End-of-Line (BEOL) -Anwendungen, so dass es ideal für eine breite Palette von Fertigungsprozessen. Dieses fortschrittliche Tool basiert auf drei unabhängigen, automatisierten Prozessen: Strippen, Ätzen und Aschen. Strippen ist das Verfahren zum ersten Entfernen der korrosiven Schicht aus der Siliziumscheibe, ein wesentlicher Schritt für die nachfolgende Naßverarbeitung. Der Hochdruckmodus des Werkzeugs ermöglicht das Abisolieren von bis zu 9 Wafern auf einmal, was einen schnelleren Durchsatz als andere vergleichbare Werkzeuge ermöglicht. Das Ätzen ist der nächste Schritt im Prozess und verwendet auch Hochdrucksprüh- oder Tauchfähigkeiten, um Dielektrikum, Metall oder beides gleichzeitig zu ätzen. Es verwendet einen zweistufigen Prozess, der an eine Vielzahl von Anwendungen angepasst werden kann. Die Ätzrate ist durch Programmierung einstellbar und kann in Echtzeit überwacht werden. Der ASHING-Prozess des Werkzeugs ist so konzipiert, dass die Photolackbeschichtung gleichmäßig von der Oberfläche des Wafers geätzt und entfernt wird. Der Prozess nutzt die CleanScribe-Technologie, die hilft, den Fotolack gleichmäßig zu entfernen und gleichzeitig Schäden am Wafer zu vermeiden. Die Zugabe eines speziellen ETCH/AIR Kompressors und DI/N2 schützt die Kammer sauber zu halten, um einen zuverlässigen, kontaminationsfreien Prozess zu gewährleisten. Das Tool hat auch das Potenzial für eine Vielzahl von Upgrades und Ergänzungen, so dass eine weitere Anpassung basierend auf der spezifischen Anwendung eines Herstellers. Mit seinem dreistufigen Verfahren und den anpassbaren Konfigurationen ist TEL INDY PLUS B-M Etcher/Asher eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen in der Elektronikfertigung. Es bietet eine schnelle, effiziente Verarbeitung und ist in der Lage, die genauen Spezifikationen eines bestimmten Jobs zu erfüllen. Durch den Einsatz der neuesten Ätz-/Aschetechnologie ist dieses fortschrittliche Tool in der Lage, die anspruchsvollsten und präzisesten Anforderungen schnell und zuverlässig zu erfüllen.