Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293656658 zu verkaufen
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ID: 293656658
Weinlese: 2010
Furnace
Process: LPCVD, Poly
Hard Disk Drive (HDD)
Load port
Carrier transfer
FIMS
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
VMM-56-201 Heater
Process: LPCVD, Poly
N2 Load lock
Load port
HTR
Exhaust box
Power box
Front and reer upper cover
Final valve box
Wafer transfer
Carrier transfer
Gas flow chart
O2 Analyzer
Does not include HCT
Si SEMI STD-Notch, 12"
M780 Furnace temperature controller
User interface:
Pressure display Unit: MPa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Carrier stage capacity: 16
Fork material: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
RCU
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
MFC Z500 IGS Final filter, regulator
Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 3-Phase
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M Ätzer (auch als Ascher bekannt) ist ein hochentwickeltes Halbleiterverarbeitungswerkzeug, das für Anwendungen mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Diese Ausrüstung bietet überlegene Kontrolle und zuverlässige Genauigkeit für verschiedene Substrate, von Dickschicht-Photoresist zu Dünnschicht-Metall-Verbindungen. Das Hauptmerkmal des TEL INDY PLUS B-M Ätzers ist sein einzigartiges Design, das zwei Verarbeitungstechnologien kombiniert: KOS (Known Oxidation Strip) und MPT (Multi Patterning Technology). Die KOS-Technologie verwendet einen Hochgeschwindigkeits-Plasmastrahl, der in der Lage ist, die organischen Verunreinigungen auf der Oberfläche eines Wafers zu entfernen. Dieses Verfahren ist ideal für Anwendungen wie Oxidentfernung, Oxiddesmearing oder Oxidstripping. Die MPT-Technologie hingegen verwendet einen Niedrigenergiestrahl und einen höheren Druck von Verdampfungsgas, um hochdichte Muster auf ein Substrat zu ätzen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M ist entworfen, um die Bearbeitungszeit unter Beibehaltung der Qualität zu reduzieren. Es verwendet eine computergesteuerte Software, mit der Benutzer die Ätzeinstellungen nach ihren Bedürfnissen programmieren können. Die Software integriert auch eine erweiterte Software-Routine, um Benutzern zu helfen, schnell und genau die Einstellungen für bestimmte Arten von Anwendungen auszuwählen. Darüber hinaus bietet TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M eine Reihe von Optionen, mit denen Benutzer Einstellungen für bestimmte Prozesse wie Musterdichte, Timing, Gasart und Gasdurchflussrate auswählen können. INDY PLUS B M kommt auch mit einer Vielzahl von peripheren Komponenten und Sensoren, die Anwendern helfen, den Ätzprozess zu steuern und zu überwachen. Das System umfasst ein modernes optisches Pyrometer, das die Wafertemperatur misst und es dem Anwender ermöglicht, die Ätzparameter entsprechend genau einzustellen. Darüber hinaus verfügt dieses Gerät über verschiedene Sicherheitsmerkmale wie eine Antikollisionsmaschine, einen Sensor, der Katastrophen mit potentiellen Hochspannungsbögen verhindert, und ein Alarmwerkzeug, das den Bediener benachrichtigt, wenn ein Problem auftritt. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M Ätzer ist ideal für Halbleiterunternehmen und Forschungseinrichtungen, die eine zuverlässige und genaue Ätzanlage suchen. Es bietet die Möglichkeit, eine Vielzahl von Substraten mit hohem Durchsatz und Genauigkeit zu verarbeiten, was es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen macht.
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