Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293665668 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein Ätzer (auch als Ascher bekannt), der für den Einsatz in Fertigungsanlagen für die Halbleiter-IC-Verarbeitung und Geräteherstellung konzipiert ist. Es ist ein Einzelwafer-Prozesswerkzeug, das sowohl Dünnschicht- als auch Dickschicht-ICs herstellen kann. Die Vorrichtung ist aus Edelstahl aufgebaut und weist zwei unabhängige Kassettenkammern und eine Waferübertragungskammer auf. TEL INDY PLUS B-M kann bis zu 25 Wafer gleichzeitig an einer Station verarbeiten und liefert einen hervorragenden Durchsatz und eine beispiellose Energieeffizienz. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M ist mit einer SPS (Programmable Logic Controller) und einem benutzerfreundlichen Touchscreen-Display ausgestattet und bietet dem Bediener eine vollständige Prozesssteuerung. Der Prozess und die Ergebnisse können über den eingebauten PC verfolgt und aufgezeichnet werden. Zusätzlich kann das Gerät zur weiteren Verarbeitung mit einem externen Rechner verbunden sein. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M ist mit zwei unabhängigen CFEEC (Chemical Flow Etch Engines & Coaters) Einheiten ausgestattet, die jeweils drei seitlich angebrachte 20cm Pods enthalten. Die CFEEC-Einheiten sind jeder, der zu bis zu acht fähig ist, verschieden ätzt und legt Rezepte ab, plus bis zu drei Ring-Oxyddünnfilm ätzen Operationsoptionen, volle Kontrolle der Ätzen- und Absetzungsraten erlaubend. Darüber hinaus ist die Vorrichtung vollständig segmentiert, so dass Prozessrezepturschritte und -parameter individuell pro Wafer gesteuert werden können. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M kann konfiguriert werden, um sich in viele fortschrittliche Prozesslinien und Anwendungen zu integrieren. Es ist vollständig anpassbar und bietet eine Vielzahl von Zubehör, so dass es in einer Vielzahl von Anwendungen wie Plasmaätzen, Abisolieren, Polsterverkapselung und Metallabscheidung verwendet werden kann. Es ist auch in der Lage, konsistente Ätz- und Ablagerungsraten und extrem hohe Wiederholbarkeit zu liefern. Insgesamt verspricht TEL INDY PLUS B M eine benutzerfreundliche Bedienung, eine präzise Prozesssteuerung und einen effizienten Betrieb für Anwendungen in der Halbleiter-IC-Herstellung und -Geräteherstellung. Es ist ein kompaktes, leistungsstarkes Gerät, das sicher ein wertvolles Gut für jede Produktionsstätte ist.
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