Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293670620 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein High-End-Ätzer/Ascher mit fortschrittlichen Funktionen, ideal geeignet für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen. Seine Eigenschaften umfassen: Eine Bearbeitungskammer 91 x 52 cm, mit der Möglichkeit, sich auf 119 x 62 cm zu erweitern. Ein Netzteil, das bis zu 120 Watt Leistung für Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Zwei Vor- und Nachheizöfen, die bis zu 21 Wafer aufnehmen können. Mehrere HF-Generatorausgänge, die individuell für spezifische Ätz- und Ascheprozesse programmiert werden können. Mikrowellenwaschfunktionen mit optionaler Mikrowellenfähigkeit. Ein modernes Drucksystem, mit der Möglichkeit, in Echtzeit zu überwachen und den Druck während der Ätz- und Ascheprozesse genau zu steuern. Automatisierte Reinigung mit der Fähigkeit, den Druck, die Temperatur und den Durchfluss des Reinigungsgases zu steuern. Eine Touchscreen-Benutzeroberfläche, mit der Benutzer ihre Ätz- und Ascheprozesse einfach konfigurieren und den Fortschritt ihrer Prozesse überwachen können. Mehrere Sensoren, die verwendet werden können, um den Status der Verarbeitungskammer zu überwachen, einschließlich Temperatur, Druck und Durchfluss. Ein mitgeliefertes Luftwäschersystem, das dabei hilft, partikelförmige Verunreinigungen zu entfernen und die Waferqualität zu verbessern. TEL INDY PLUS B-M ist so konzipiert, dass es konstant hervorragende Ergebnisse mit geringem Wartungsaufwand und langer Lebenserwartung liefert. Es wurde auch mit Leichtigkeit der Bedienung im Auge, mit klaren und intuitiven Benutzeroberflächen entworfen. Seine zahlreichen Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen, vom Ätzen und Aschen bis hin zur fortschrittlichen Prozesssteuerung.
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