Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763487 zu verkaufen

ID: 293763487
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
Vertical furnace, 12" Process: Pyro Air valve: CKD VOS-56-101PT Heater Automation system Process chamber MFC, MFM: AERA MAIN / APC: CKD Gases: HCL, H2, O2, N2 Load lock system Storage 4-Color signal tower Carrier transfer Load port: Side FFU FIMS Port Wafer transfer Boat elevator Auto shutter Manufold scavenger (2) Boat transfers Boat stage Manifold Utility box: WAVES Controller GFC Display Operation panel Data I/O Hardware switch Gas unit Cooling unit APC controller Temperature controller Vacuum line Power box: EMO Unit Control board Hardware switch Transformer SCR Unit with controller N2 Purge unit RF Power Rapid cooling unit Pump box Gas subsystem: Gas supply unit Exhaust Vacuum line Operating system: Linux Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase 2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein Ätzer/Ascher für die hochpräzise Großserienfertigung von Mikrokomponenten. Diese Ausrüstung wurde für professionelle Produktionsanlagen konzipiert und ist ein zuverlässiges Prozesskontrollgerät für Maske, Plattenätzen und Aschen. Es ist in der Lage, präzise und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Nassverarbeitungsaufgaben zu liefern. TEL INDY PLUS B-M arbeitet mit einer Mehrkammer-Ätzzelle mit einem in einer Kammer enthaltenen Plasmagenerator und dem in der anderen enthaltenen Wafer. Dies ermöglicht eine gleichzeitige Durchführung des Prozesses und gewährleistet eine hohe Kontrolle der Prozessparameter. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die vor Prozessschäden durch Dinge wie Türöffnung, Übertemperatur und Druck sowie andere elektronische Vorfälle schützen. Darüber hinaus ist das System nach IEC 61010-1 zertifiziert, um einen zuverlässigen Betrieb in jeder Laborumgebung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Einheit mit einer 95% igen Prozeßwiederholbarkeitsrate hocheffizient. Dadurch eignet sich die Maschine gut für Produktionsprozesse mit hohem Durchsatz und liefert hochgenaue Ergebnisse für mehrere Arten von Ätzprozessen sowie für das Aschen. Neben seinen hochwertigen Ergebnissen bietet INDY PLUS B M eine Reihe von komfortablen Funktionen. Es verfügt beispielsweise über eine konfigurierbare grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine Programmierung der Parameter für einen automatisierten Ätzprozess sowie eine einfache Anzeige des Prozessstatus ermöglicht. Darüber hinaus kann seine Schnittstelle mit einer Vielzahl anderer Systeme wie EDX, Rhythmlogics und mehr verknüpft werden. Dies ermöglicht die Integration mit internen und externen Systemen und bietet eine hohe Flexibilität. Das Werkzeug enthält auch ein einzigartiges Design, das die Einführung neuer Prozessschrittparameter wie Spannung, Druck und Temperatur ermöglicht. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M ein idealer Ätzer/Ascher für professionelle Produktionsanlagen, die hochpräzise, großvolumige Mikrokomponenten erstellen müssen. Es bietet eine zuverlässige Prozesssteuerung, ein hohes Maß an Wiederholbarkeit und die Fähigkeit, eine Vielzahl von anderen Systemen zu verknüpfen. Darüber hinaus bietet es komfortable Funktionen wie konfigurierbare grafische Benutzeroberflächen und die Möglichkeit, neue Prozessschrittparameter einzuführen, die große Flexibilität bieten und es zu einem der vielseitigsten Systeme seiner Art machen.
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