Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763487 zu verkaufen
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ID: 293763487
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
Vertical furnace, 12"
Process: Pyro
Air valve: CKD
VOS-56-101PT Heater
Automation system
Process chamber
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Gases: HCL, H2, O2, N2
Load lock system
Storage
4-Color signal tower
Carrier transfer
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Manufold scavenger
(2) Boat transfers
Boat stage
Manifold
Utility box:
WAVES Controller
GFC Display
Operation panel
Data I/O
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
APC controller
Temperature controller
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit with controller
N2 Purge unit
RF Power
Rapid cooling unit
Pump box
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Operating system: Linux
Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein Ätzer/Ascher für die hochpräzise Großserienfertigung von Mikrokomponenten. Diese Ausrüstung wurde für professionelle Produktionsanlagen konzipiert und ist ein zuverlässiges Prozesskontrollgerät für Maske, Plattenätzen und Aschen. Es ist in der Lage, präzise und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Nassverarbeitungsaufgaben zu liefern. TEL INDY PLUS B-M arbeitet mit einer Mehrkammer-Ätzzelle mit einem in einer Kammer enthaltenen Plasmagenerator und dem in der anderen enthaltenen Wafer. Dies ermöglicht eine gleichzeitige Durchführung des Prozesses und gewährleistet eine hohe Kontrolle der Prozessparameter. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die vor Prozessschäden durch Dinge wie Türöffnung, Übertemperatur und Druck sowie andere elektronische Vorfälle schützen. Darüber hinaus ist das System nach IEC 61010-1 zertifiziert, um einen zuverlässigen Betrieb in jeder Laborumgebung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Einheit mit einer 95% igen Prozeßwiederholbarkeitsrate hocheffizient. Dadurch eignet sich die Maschine gut für Produktionsprozesse mit hohem Durchsatz und liefert hochgenaue Ergebnisse für mehrere Arten von Ätzprozessen sowie für das Aschen. Neben seinen hochwertigen Ergebnissen bietet INDY PLUS B M eine Reihe von komfortablen Funktionen. Es verfügt beispielsweise über eine konfigurierbare grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine Programmierung der Parameter für einen automatisierten Ätzprozess sowie eine einfache Anzeige des Prozessstatus ermöglicht. Darüber hinaus kann seine Schnittstelle mit einer Vielzahl anderer Systeme wie EDX, Rhythmlogics und mehr verknüpft werden. Dies ermöglicht die Integration mit internen und externen Systemen und bietet eine hohe Flexibilität. Das Werkzeug enthält auch ein einzigartiges Design, das die Einführung neuer Prozessschrittparameter wie Spannung, Druck und Temperatur ermöglicht. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M ein idealer Ätzer/Ascher für professionelle Produktionsanlagen, die hochpräzise, großvolumige Mikrokomponenten erstellen müssen. Es bietet eine zuverlässige Prozesssteuerung, ein hohes Maß an Wiederholbarkeit und die Fähigkeit, eine Vielzahl von anderen Systemen zu verknüpfen. Darüber hinaus bietet es komfortable Funktionen wie konfigurierbare grafische Benutzeroberflächen und die Möglichkeit, neue Prozessschrittparameter einzuführen, die große Flexibilität bieten und es zu einem der vielseitigsten Systeme seiner Art machen.
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