Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293816259 zu verkaufen
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ID: 293816259
Wafergröße: 12"
Furnace, 12"
Process: SiO2
Dual boat
SMIF: FOUP type
N2 Load lock
(25) Carrier slots
Control system
Process gasses
Process liquid
Gas distribution system
Exhaust distribution system
Wafer / Cassette handling
Elevator handling
VMM-56-201 Heating chamber
No RF system
No HEC Pyro CTL
No RCU
No Cold trap.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein hochmoderner Diffusionsofen mit fortschrittlichen Eigenschaften und Fähigkeiten für die Hochleistungsverarbeitung von Wafern in der Halbleiterherstellung. Dieses innovative Werkzeug vereint Präzisionssteuerung, hohen Durchsatz und überlegene Gleichmäßigkeit, um den anspruchsvollen Anforderungen der Branche gerecht zu werden. TEL INDY PLUS B-M Diffusionsofen ist mit einem Mehrzonenheizsystem ausgestattet, das eine präzise Temperaturregelung über die Waferoberfläche gewährleistet. Dies ermöglicht gleichmäßige Heiz- und Kühlzyklen, die für die Erzielung konsistenter und zuverlässiger Ergebnisse im Diffusionsprozess entscheidend sind. Der Temperaturbereich des Ofens kann angepasst werden, um eine Vielzahl von Prozessrezepten und Materialien unterzubringen, so dass es ein vielseitiges Werkzeug für verschiedene Anwendungen ist. Neben der Temperaturregelung verfügt TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M über eine Gasstromregelung, die eine präzise Regelung der Atmosphäre innerhalb der Prozesskammer ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer den optimalen Bedingungen für den Diffusionsprozess ausgesetzt ist, was zu einer verbesserten Leistung und Ausbeute führt. Der Ofen enthält auch erweiterte Sicherheitsmerkmale, um Gasaustritte zu verhindern und die Integrität der Prozessumgebung zu gewährleisten. TEL INDY PLUS B M ist für die Verarbeitung mit hohem Durchsatz konzipiert, wodurch Halbleiterhersteller ihre Produktionskapazität erhöhen können, ohne auf Qualität zu verzichten. Das Werkzeug verfügt über eine große Prozesskammer, die mehrere Wafer gleichzeitig aufnehmen kann, Zykluszeiten reduziert und die Effizienz verbessert. Der Ofen ist auch mit erweiterten Automatisierungsfunktionen ausgestattet, wie Rezepturmanagement und Datenprotokollierung, um den Verarbeitungsablauf zu optimieren und den Eingriff des Bedieners zu minimieren. Einer der Hauptvorteile von TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist seine Kompatibilität mit einer breiten Palette von Zubehör und Upgrades, die seine Leistung und Vielseitigkeit verbessern. Dazu gehören Hilfsgasfördersysteme, Wafer-Handling-Roboter und fortschrittliche Prozessüberwachungswerkzeuge, die eine Prozesssteuerung und -optimierung in Echtzeit ermöglichen. Der Ofen kann auch in eine komplette Halbleiterherstellungsleitung integriert werden, wodurch ein nahtloser Übergang von der Waferzubereitung zur Verpackung ermöglicht wird. Insgesamt ist INDY PLUS B M ein hochmoderner Diffusionsofen, der außergewöhnliche Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität für Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften und Fähigkeiten ist es eine ideale Wahl für Serienumgebungen, in denen Präzision, Konsistenz und Effizienz von größter Bedeutung sind. Durch die Nutzung der Fähigkeiten dieses Werkzeugs können Halbleiterhersteller überlegene Ergebnisse erzielen und der Konkurrenz in der sich schnell entwickelnden Halbleiterindustrie einen Schritt voraus sein.
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