Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #9381843 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der fortschrittlichsten Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. TEL INDY PLUS B-M nutzt ein revolutionäres Flüssigphasenätzverfahren, um Präzision und Kontrolle über geätzte Merkmalsgrößen und -formen zu ermöglichen. Diese einzigartige Funktion ermöglicht es TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M, Funktionen mit Metallhardmasken oder organischen Hardmasken in wenigen Minuten mit enger CD-Steuerung herzustellen. Für hohe Merkmalsqualität sorgt die Integration des doppelten ungleichmäßigen Strahlwinkels. Dadurch wird ein gleichmäßiges Ätzen bei großen Formstückgrößen bei minimaler Unter- oder Seitenwandrauhigkeit gewährleistet. Die Prozessflexibilität von TEL INDY PLUS B M wird durch sein breites Spektrum an Prozessgasen wie NF3, CF4, CF4/O2, NF3/O2, SF6 und SF6/O2 weiter verbessert. Dies erleichtert eine Vielzahl von Abscheidungstechniken einschließlich Multi-Dep und Arealuzion, Polysilizium LPCVD und anisotropic Dry Etch, unter anderem. INDY PLUS B-M verfügt auch über proprietäre Substrat- und Plattenkühlung, um thermische Schäden zu verhindern und die Wahrscheinlichkeit des Rückätzens zu verringern. INDY PLUS-B-M wurde entwickelt, um höhere Durchsätze zu erzielen und Ausfallzeiten zu reduzieren. Es verfügt über eine vielseitige Subnanosekunden-Pulsfähigkeit, mit der Ätzenergie in bestimmte Prozessbereiche gelenkt werden kann. Dies beschleunigt die Ätzzyklen und ermöglicht den Einsatz der Maschine für ein breiteres Spektrum von Prozessrezepten. Der modulare Aufbau der Maschine ermöglicht einen schnellen Austausch von Prozessmodulen, was den Substratdurchsatz erhöht und die Zeit erhöht, die Bediener die Rüstzeit sparen können. Schließlich verfügt TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M über eine lokalisierte HF-Plasmaquelle und integrierte Ionenquelle für verbesserte Abscheidungsgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. Die HF-Systeme bieten eine erweiterte Flexibilität bei der Prozesssteuerung im Vergleich zu anderen Ätzern derselben Klasse. Zusammenfassend ist INDY PLUS B M ein vielseitiger Ätzer/Ascher, der Prozessflexibilität, verbesserten Durchsatz und wiederholbare Leistung bietet. Das einzigartige Flüssigphasen-Ätzverfahren erzeugt kleinere Funktionsgrößen mit enger CD-Steuerung und umfasst einen einstellbaren Strahlwinkel und eine Substrat-/Platten-Kühlung. Seine schnelle Subnanosekunden-Pulsierung ermöglicht Multi-Prozess-Rezepte, während seine integrierten HF- und Ionenquellen zusätzliche Präzision bieten. Dieser fortschrittliche Ätzer/Ascher ist ideal für die Herstellung komplizierter Halbleiterbauelemente.