Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293592996 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293592996
Wafergröße: 12"
LPCVD Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es wird verwendet, um Ascheschichten aus Photolackmaterial auf Wafern zu ätzen, um verschiedene Merkmale auf den Wafern zu schaffen. Das Verfahren wird als Photolithographie bezeichnet und ist ein wichtiger Schritt bei der Herstellung eines Halbleiterbauelements. TEL INDYPLUS verfügt über eine VariBeam™ einspaltige optische Säule, die überlegene Leistung und Genauigkeit bietet. Die Säule ist in der Lage, präzise Geometrien zu ätzen. Es bietet ein hohes Maß an Vielseitigkeit aufgrund seiner hohen Auflösung, der Fähigkeit, bei höheren Strahlströmen zu ätzen, und seiner Integration in die gemeinsamen Umgebungen von Ätzprozesswerkzeugen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS hat auch eine Vielzahl anderer Merkmale, wie eine 25 kV potentiell isolierte Vorspannungselektrode, ein robustes System zur Überwachung und Kontrolle von Temperatur und Atmosphäre beim Ätzen und Aschen. Dies ermöglicht ein genaues und stabiles Ätzen und Aschen von Photolackschichten. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS ist mit Auto-Bias-Kalibrierung und automatischer Strahlstromkalibrierung ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Ätz- und Ascheprozess von hoher Qualität ist. Diese Funktionen ermöglichen es dem Bediener, eine Zielspannung, einen Strahlstrom und ein Profil einzustellen, und Indy Plus wird automatisch angepasst, um optimiert zu werden. Mit modernster Computersteuerung kann INDYPLUS auch Temperatur, Säure und Druck während des Ätz- und Aschevorgangs messen und einstellen. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Waferzyklus reproduzierbar und gleichmäßig ist. TEL Indy Plus Ätzer/Ascher ist das perfekte Werkzeug für präzise Geometrien mit höchster Qualität. Es bietet einen stabilen Betrieb in einer Vielzahl von Prozessen, und seine Eigenschaften machen es zu einem zuverlässigen und zuverlässigen Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. TEL ist stolz darauf, INDY PLUS Ätzer/Ascher anzubieten, der den Industriestandard für die Produktion von qualitativ hochwertigen Halbleiterbauelementen setzt.
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