Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596083 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses Gerät ist ein hochzuverlässiges, hochmodernes Ätz-/Thermooxid-Werkzeug, das für die Verarbeitung von Substraten wie Quarz, Silizium und Aluminium verwendet werden kann. TEL INDYPLUS verfügt über ein intuitives, benutzerfreundliches Touchscreen-Bedienfeld zur einfachen Überwachung interner Operationen, Einstellung von Bedingungen und Fehlerbehebung. Es können verschiedene Systemwarnungen und Alarme eingestellt werden, um den Benutzer über Probleme zu informieren. Durch die Verwendung einer prozessgesteuerten Gasverteilungseinheit und einer einzigartigen In-situ-Methode zur Probenahme der Vorläuferkonzentration innerhalb der Verarbeitungskammer ist TOKYO ELECTRON INDY PLUS in der Lage, sowohl den Ätzprozess als auch die Gasphasenchemie exakt zu steuern. TEL Indy Plus ist mit zwei Bearbeitungskammern ausgestattet. Die erste ist die Substratkammer, in der die Ätzrate durch den Druck und die Temperaturen gesteuert wird. Der zweite ist der thermische Oxidator, wo die Oxidation durch die Temperatur und Zeit gesteuert werden kann. TOKYO ELECTRON Indy Plus hat eine einzelne Taschentafel, die bis zu vier Substrate aufnehmen kann, so dass Wafergrößen zwischen 2 „und 6“ im Durchmesser. Die Maschine kann bei Temperaturen bis 900 ° C und bis -20 ° C arbeiten. TEL INDY PLUS hat die Fähigkeit, mehrere Prozesse in einem einzigen Lauf durchzuführen, einschließlich Ätzreinigung, Profilierung und isolierte Ätzung für flache Grabenisolierung (STI) und andere hohe Seitenverhältnisse Ätzungen. Darüber hinaus können auch verschiedene Nachätzverfahren wie Diffusion und thermische Oxidation durchgeführt werden. Das Werkzeug enthält auch mehrere Sicherheits- und Umweltschutzmerkmale wie Gasabgase, Prallschutzscheiben und Wärmeschilder. Insgesamt ist INDYPLUS ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug mit einer Reihe von Vorteilen und Funktionen, die es zu einer idealen Option für die Halbleiterherstellung machen. Es verfügt über einen umfassenden Satz von Parametern und Fähigkeiten, so dass es die perfekte Wahl für die Durchführung einer Vielzahl von Ätzprozessen mit großer Genauigkeit und Wiederholbarkeit.