Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627608 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterindustrie zur Verarbeitung von Wafern verschiedener Größen eingesetzt wird. Diese Asche ist mit modernstem Touch-Panel und energiesparendem Design ausgestattet, das elektrische Kosten und Unterstützung für schnelles Heizen und Kühlen reduziert. Es hat auch mehrere Rezepte im Speicher gespeichert. TEL INDYPLUS ist in der Lage 400mm und 300mm Wafer Verarbeitung mit Größen von 2 bis 8 Zoll. Es bietet eine breite Palette von Verarbeitungsmöglichkeiten, einschließlich Cl2-based hochdichten Ionenstrahlätzen, Aschen, Ätzen und Aschen, Polysiliziumfilmätzen und Dünnschichtabscheidungen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS verfügt außerdem über ein elektrostatisches Futter vom Hybridtyp, das eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Substratasche bietet und die Ätz- und Ascheeffizienz optimiert. Sein Roboterarm ermöglicht eine schnelle Waferübertragung. Es ist mit einer Infrarot-Heizungssteuerung ausgestattet, die durch die Aufrechterhaltung der Temperatur in der Bearbeitungskammer Schwankungen reduzieren soll. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS verwendet einen speziellen digitalen Foliendickenregler, der präzise Wiederholbarkeit und verbesserte Ätz-/Ascheprofile liefert. Es hat auch verschiedene Sicherheitsmerkmale, einschließlich einer Rückgasüberwachung in der Kammer, Überdrucksicherheitsventil und Sicherheitsverriegelungen. Neben diesen Eigenschaften verfügt INDYPLUS auch über eine spezielle Probenahmekammer für die fortgeschrittene Nassbankverarbeitung. Dies bietet eine saubere Umgebung für die Prüfung und Messung der Eigenschaften von hohen Sonden und Kontrolle. INDY PLUS ist eine kostengünstige, aber leistungsstarke Ätzlösung, die eine Vielzahl von Fertigungsanforderungen in der Halbleiterindustrie erfüllt. Es ist benutzerfreundlich, bietet einen hohen Durchsatz und präzise Ergebnisse und ist ideal für die Hochvolumenverarbeitung von verschiedenen Arten von Wafern.