Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293640263 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es ist ein Upgrade auf das Standard-Modell TEL Indy und besteht aus einer Präzisionsvakuumkammer, Prozessstationen und automatisierten Prozesssteuerungen. Dieser Ätzer/Ascher erleichtert Trockenätzprozesse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. TEL INDYPLUS wird in der Lithographie, Photolackveraschung, Trockenätzung, Ionenimplantation und Ionenstrahloberflächenbearbeitung eingesetzt. Es ist in der Lage, mit Gasen und Gemischen zu arbeiten, die in diesen Operationen verwendet werden, und bietet eine schnelle, hochpräzise globale Ausrichtung zur Auflösung von Submikronmustern. Dieser Ätzer/Ascher verwendet fortschrittliche Prozesse, um mehrere Bereiche mit hochwertigen Oberflächen gleichmäßig zu ätzen. Es zeigt ein globales Hochleistungsanordnungsmikroskop, 200 nm Stufenbewegungsgenauigkeit und Antriebentschädigungseigenschaften. TOKYO ELECTRON INDY PLUS bietet zudem eine überlegene Wiederholbarkeit für Ätzprozesse und einen verbesserten Durchsatz für Parallelätzen. Die Kammer von TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS ist in der Lage, einen Basisdruck von 10mTorr oder weniger zu erreichen und bietet im Vergleich zum Standard Indy Ätzer oder anderen Ätz-/Aschermodellen eine kürzere Evakuierungszeit. Der Raum wird mit einer AC-Induktion magnetron stotterndes Gerät ausgestattet und CVD-Metallabsetzungsgerät thermisch geholfen. TOKYO ELECTRON Indy Plus bietet Platz für bis zu 300mm Wafer und eine saubere Umgebung wird durch eine Gasduschanlage mit einem Gasfiltersystem und einer Mehrfachgasfördereinheit aufrechterhalten. Diese Maschine stellt sicher, dass die Kammer frei von Verunreinigungen ist, wodurch die Ätzgenauigkeit und der Durchsatz verbessert werden. Indy Plus ist in der Lage, das Ätzen mit hohem Seitenverhältnis zu handhaben und kann auch ein Ätzen bis zu einigen hundert Nanometern Dicke durchführen. Dieser Ätzer/Ascher kann mehrere Materialien gleichzeitig verarbeiten und eignet sich somit für eine Vielzahl von Prozessanwendungen. Darüber hinaus ist INDY PLUS mit der gesamten Palette der IPEC-Ätzchemie kompatibel. INDYPLUS ist benutzerfreundlich und bietet ein verbesserungsfähiges Design für Verbesserungen, was es zu einer kostengünstigen Wahl für diejenigen macht, die einen vielseitigen Ätzer/Ascher suchen. Der Ätzer/Ascher ist auch mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um die Sicherheit des Personals zu gewährleisten und mögliche Unfälle zu verhindern.