Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649523 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist eine hochentwickelte Ausrüstung mit Präzisionsstrahlsteuerung, die eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht. Das System nutzt sowohl Direct-Axis Beam Control (DABC) als auch Inverse-Axis Beam Control (IABC) Fähigkeiten. Es wird auch mit einer Hochleistungsbildaufbereitungseinheit und einer Eigentumssteindruckverfahrensoftware ausgestattet. TEL INDYPLUS Maschine unterstützt sowohl Batch-und Single-Wafer-Betriebsmodi. Im Batch-Betrieb kann es bis zu 200 Wafer in einem Lauf aufnehmen. Dieser Modus ermöglicht es Benutzern, den Durchsatz und die Produktivität zu verbessern, indem automatisierte Prozesse ohne manuelles Laden durchgeführt werden. Das Werkzeug verfügt auch über eine erweiterte Nivellierfähigkeit, die einheitliche Ätz- und Ascheergebnisse gewährleistet. Die Anlage umfasst ein eigenes Kammerdesign namens Uniform High Plasma (UHP) -Kammer, die den Ätz- und Ascheprozess steuert, indem sie die Anzahl der Plasmaquellen erhöht und ein symmetrisches Plasmadruckprofil erzeugt. Dies trägt dazu bei, die Wahrscheinlichkeit eines ungleichmäßigen Ätzens und Aschens zu verringern und so die Reproduzierbarkeit und Ausbeute zu verbessern. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON INDY PLUS Modell mit einer Reinigung zu Etch (C2E) Fähigkeit ausgestattet. Mit dieser Funktion können Benutzer automatisch eine Abfolge von Prozessschritten wie Reinigen, Ätzen und Veraschen festlegen, um die Effizienz zu verbessern. Die Indy Plus Ausrüstung ist auch für maximale Sicherheit ausgelegt. Es kommt mit einem Alarmsystem zur Überwachung der Prozessumgebung, einschließlich Temperatur und Druck. Das Gerät hat auch eine automatische Abschaltfunktion im Notfall. Insgesamt ist INDYPLUS eine fortschrittliche, hocheffiziente Ätz-/Aschemaschine, die für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es bietet Präzisionsstrahlsteuerung, Hochgeschwindigkeitsbildgebung, einheitliche Hochplasmakammer, Reinigungs- bis Ätzfähigkeit und ein Alarmwerkzeug zur Überwachung des Prozessauftrags, so dass es ein zuverlässiges und zuverlässiges Gut für jede Anwendung ist.