Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649525 zu verkaufen

TELEFON / ELEKTRON VON TOKIO Indy Plus ist eine Halbleitermikroelektronik-Verarbeitungsanlage, die ein hoch effizientes Ätzen / ashing Prozess verwertet. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Materialien zu ätzen/zu aschen, einschließlich einer Reihe von Silizium, Siloxanen und anderen verschiedenen Halbleitermaterialien. Diese Ätz-/Ascheeinheit ist besonders wirksam beim Ätzen und oder Aschen kleiner Merkmalsgrößen, was die Verarbeitung kleiner Detektoren, Transistoren und anderer Halbleiterbauelemente ermöglicht. Der Ätz-/Ascheprozess besteht aus mehreren präzisionsgesteuerten Schritten. Diese Schritte wurden entwickelt, um eine Gleichmäßigkeit im Ätzprozess zu erreichen, die für die Erzeugung zuverlässiger und konsistenter mikroelektronischer Geräte erforderlich ist. Der erste Verfahrensschritt verwendet einen Verdampfer, um das Zielmaterial mit einem dreidimensionalen Verdampfungsmuster zu verdampfen. Es folgt eine Kraftstoffeinspritzmaschine, die dem abgeschiedenen Material zusätzliche thermische Energie zur Erhöhung der Dissoziationsgeschwindigkeit zuführt. Zur Vereinheitlichung des Prozesses wird dann ein Laserstrahl hoher Intensität auf das Substrat geleitet, um das Zielmaterial an bestimmten Stellen selektiv zu erwärmen. Nach dem Aufbringen der Wärme wird das geätzte Material dann einer Plasmaumgebung ausgesetzt. Diese Umgebung bewirkt eine weitere Zerlegung des Materials in Komponentenmoleküle. Durch präzise Steuerung der Bedingungen innerhalb der Plasmakammer können die Komponenten selektiv weggeätzt werden. Der Ätz-/Aschevorgang ist auch in der Lage, Material sehr kontrolliert zu entfernen. Dies geschieht mit einem hochmotorisierten Kehrbalkenwerkzeug. Der Strahl wird in einer Reihenfolge über die Oberfläche des Substrats geführt, wodurch das Material allmählich entfernt wird. Schließlich wird ein kombinierendes Asset verwendet, um die verschiedenen Komponenten des Ätz-/Ascheprozesses zu kombinieren. Dieses Modell beinhaltet ein automatisiertes Bedienfeld, das eine individuelle und vollständige Steuerung des gesamten Prozesses ermöglicht. Das Bedienfeld dient zur Einstellung von Parametern wie Ätzzeit, Plasmatemperatur, Druck und Laserleistung. TEL INDYPLUS ist eine hocheffiziente Ätz-/Aschemaschine und bietet eine Vielzahl fortschrittlicher Ätzverfahren für unterschiedliche Materialien. Das System soll effiziente und präzise Ätzprozesse für die Herstellung hochwertiger und zuverlässiger mikroelektronischer Geräte liefern.