Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670479 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der Präzision und Geschwindigkeit für jedes Verarbeitungsprojekt bringt. Diese Maschine ist in der Lage, hochpräzise Ätzprozesse mit Genauigkeit und hohem Durchsatz durchzuführen. TEL INDYPLUS verwendet eine hybride elektrochemische (stromlose Abscheidung) Technik, die schnelles Ätzen bei geringem Gasverbrauch und guter Selektivität ermöglicht. Dieser Ätzer/Ascher ist speziell für das Präzisionsätzen einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Metallen, Isolatorfolie und Leiterplatten, ausgelegt. Mit seiner Mikroformtechnologie hat TOKYO ELECTRON INDY PLUS die Möglichkeit, das Ätzen und Abscheiden von Leistungsgrößen mit hohem Seitenverhältnis bis zu 0,2 μ m zu steuern. Dieses vielseitige Gerät verbessert die Prozesssicherheit und Wiederholbarkeit. Indy Plus bietet zudem eine benutzerfreundliche Oberfläche, die das Einrichten und Programmieren des Ätzprozesses einfach macht. Die Prozessoptionen der Maschine umfassen Zeit- und aktuelles Steuerprogramm, ADL (automatic deposition limit) Steuerprogramm und andere erweiterte Steuerungsfunktionen. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS unterstützt auch geätzte Schichten mit bis zu 16 µm, einschließlich beliebigem Winkel, Kreuzschlitz und Stufenetch. INDYPLUS ist mit einem Halbleiter-Frontend-Modul ausgestattet, das die Kompatibilität von 180nm bis 65nm Technologieknoten unterstützt. Das Frontend-Modul wird für Alkali-Ätz-, Vormuster-Plasmaätz- und Nachätzreinigungsprozesse verwendet. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Gleichspannungsätzen und HF/DC-Impulsätzprozesse zu optimieren. TEL Indy Plus beinhaltet ein Kammeraustrittssystem, das die Kammer sauber und unter Kontrolle hält. Dieses System hilft, eine konstante Betriebstemperatur und Druck beizubehalten, um Faktoren zu vermeiden, die zu Ätzprozessfehlern führen. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS verfügt außerdem über ein fortschrittliches Vakuumsystem, das die Gleichmäßigkeit des Ätzens von Wafern für konsistente Ergebnisse optimiert. Zur Verbesserung der Ätzausbeuten können auch automatisierte Waferstufenkippen und Rotationswerkzeug-zu-Werkzeug eingesetzt werden. Dieser Ätzer/Ascher hat überlegene Gleichmäßigkeit, Stabilität und Folieneigenschaften, die ihn zu einer zuverlässigen Wahl für eine Vielzahl von Ätzprozessen machen. TOKYO ELECTRON INDYPLUS ist einfach zu installieren und zu bedienen; es ist eine kostengünstige Lösung und eignet sich für Produktionslinien oder F & E-Labore.