Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670480 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293670480
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der für die Herstellung von Halbleiter- und MEMS-Bauelementen verwendet wird. TEL INDYPLUS ist ein fortschrittliches Werkzeug, das entwickelt wurde, um eine Vielzahl von Materialien unter enger Prozesskontrolle zu ätzen und die Herstellung von Hochdurchsatzgeräten zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS nutzt eine fortschrittliche Kombination aus chemischen Ätz- und physikalischen Ätztechnologien und bietet das Beste aus beiden Welten und sorgt für hochpräzise Ergebnisse. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS hat eine breite Palette von Funktionen, die es ermöglichen, mit einer Vielzahl von Materialien verwendet werden. Es unterstützt sowohl das Nassätzen als auch das Trockenätzen und kann verschiedene Materialien wie Metalle, Polymere, Silizium, Aluminiumoxide und Dielektrika ätzen. Damit eignet es sich sowohl für klassische Halbleiteranwendungen als auch für die MEMS-Fertigung. TEL Indy Plus ist mit einer breiten Palette von Steuerungen und Instrumenten ausgestattet, um präzise Ätzergebnisse zu gewährleisten. Es ist in der Lage, die Temperatur und Leistung seiner Plasmakammern genau zu steuern und gleichzeitig eine stabile Arbeitsumgebung zu erhalten. Darüber hinaus kann sein Kammerdruck leicht an die Anforderungen verschiedener Substrate angepasst werden. Das Werkzeug verfügt über ein vierachsiges Wafer-Handling-System mit hoher Belastbarkeit, das höchste Genauigkeit ermöglicht. Es enthält eine zweidimensionale Scan-Musterfähigkeit, mit der komplexe Muster wie MEMS-Strukturen präzise geätzt werden können. Darüber hinaus verfügt es über zwei Elektronenflutpistolen zum gleichmäßigen Ätzen über die gesamte Waferoberfläche. Es hat eine kompakte Bauweise, die den Platzbedarf eines Fab minimiert, und seine langlebige Konstruktion ist entworfen, um dem erweiterten Gebrauch standzuhalten. Darüber hinaus verfügt es über einen niedrigen Basisdruck, der es ermöglicht, Materialien schnell und präzise zu ätzen, ohne das Risiko einer Kontamination einzugehen. Neben dem geringen Kontaminationsrisiko verfügt Indy Plus auch über eine einfach zu bedienende grafische Oberfläche. Dies ermöglicht eine effizientere Bedienung und die Schnittstelle ermöglicht die Überwachung von Echtzeitdaten und Einstellungen. Darüber hinaus verfügt TEL INDY PLUS über die Möglichkeit, sich mit anderen Geräten in der Prozesslinie zu integrieren und so automatisiertes Ätzen zu ermöglichen. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS ist ein idealer Ätzer/Ascher für eine breite Palette von Halbleiter- und MEMS-Fertigungsanwendungen. TOKYO ELECTRON INDYPLUS ermöglicht mit seinen vielfältigen Funktionen und präzisen Steuerungen eine Hochdurchsatz-Geräteherstellung mit höchster Präzision.
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