Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670481 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung für fortgeschrittene Halbleiterherstellungsanwendungen. TEL INDYPLUS ist mit spezialisierter Software, Komponenten und Funktionen ausgestattet, die eine extreme Präzision beim Ätzen und Veraschen von Merkmalen auf einem Substrat ermöglichen. Der erste Schritt des Ätzens ist die Herstellung eines Substrats. TOKYO ELECTRON INDY PLUS verfügt über anpassbare Substrathalter, mit der Fähigkeit, die korrekte Positionierung der Chips vor dem Ätzen zu platzieren und anzupassen. Dies sorgt für optimale Ergebnisse bei minimalem Restgiftpulver. Sobald das Substrat vorhanden ist, wird das Ätzen zunächst entweder mit dem traditionellen viskosen Quarz- oder induktiv gekoppelten Plasma (ICP) -Verfahren ausgelöst. Während des Quarzätzprozesses werden die Plasmakonfigurationsparameter wie Gasdruck, Durchfluss und Frequenz so eingestellt, dass eine maximale Ätzrate erreicht wird. Im ICP-Prozess werden Druck, Frequenz und Form der Welle geregelt, um die höchste Ätzrate zu induzieren. TOKYO ELECTRON INDYPLUS ist mit mehreren Hochtemperatur-Gasinjektoren ausgestattet, um die Ätzbedingungen zu optimieren. Erweiterte Temperaturregelung des Ätz- und Ascheprozesses ist verfügbar, um vollständig kundenspezifische Ergebnisse zu ermöglichen. Um Abfall zu verhindern, isoliert und behandelt ein Fallensystem den Auspuff während des Ätzprozesses und minimiert so die Umweltbelastung. INDYPLUS\' eingebaute Sensoren ermöglichen die vollständige Kontrolle der Ätzkunst durch genaue Überwachung der Ätzrate, Ätztemperatur und Substrateigenschaften. Die Echtzeit-Datenprotokollierung ist für alle Variablen verfügbar und kann zur späteren Überprüfung heruntergeladen werden. Nach Beendigung des Ätzvorgangs werden die Substrate entweder mit dem Trocken- oder Nasswaschvorgang gereinigt. Dieses Verfahren bestimmt die Qualität der Ätzung und entfernt unerwünschte Rückstände. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS bietet integrierte erweiterte Rückstandserkennungsfunktionen und kann bei Bedarf entweder die Entfernung des Substrats oder eine weitere Veraschung ermöglichen. TOKYO ELECTRON Indy Plus Ätzer/Ascher-Einheit ist ein innovatives Werkzeug für die Herstellung und Ätzung von fortgeschrittenen Halbleiterbauelementen. Mit seinen fortschrittlichen Komponenten und anpassbaren Optionen ist INDY PLUS die perfekte Ätz-/Aschermaschine für jeden fortschrittlichen Herstellungsprozess.