Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670483 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus Ätzer ist ein hochmodernes Halbleiterverarbeitungswerkzeug für Ätz-, anisotrope Ätz- und Oberflächenreinigungsanwendungen. Das Gerät bietet höchste Präzision und Zuverlässigkeit in Halbleiterprozessen wie Oxidätzen, S-Schichtätzen, Kupferätzen und anderen fortschrittlichen Ätz- und Reinigungsoperationen. Seine einzigartige Designphilosophie macht modernste Funktionen und Technologien zu einem kompletten Paket, das den gesamten Prozess vereinfacht und die Betriebskosten senkt und gleichzeitig Effizienz und Kosteneinsparungen steigert. TEL INDYPLUS besteht aus einem kompakten Paket und ist so konzipiert, dass es einfach in bestehende Reinraumumgebungen integriert werden kann. Dieses System umfasst automatisierte Steuerung, zuverlässige Überwachung und flexible Konfigurationsoptionen. Das Gerät verfügt auch über dynamische Drucksteuerung, hohe Drehzahl, erweiterte HF-Leistungsbereich Anpassung, Software-Upgrade-Kompatibilität und einfache Rezeptsteuerung für höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Der hochmoderne Ätzer ist mit einer effizienten Gasfördermaschine ausgestattet und bietet eine breite Palette an reaktiven Gasen wie SF6, CHF3, CF4, C4F8, O2 und Ar. Es verwendet ein digital gesteuertes elektrostatisches Spannfutter zum Halten des Wafers im genauen Winkel und liefert gleichmäßige Bearbeitungsparameter über eine Reihe von Ätz- und Oberflächenreinigungsanwendungen. Der interne HF-Generator des Werkzeugs bietet einen Leistungsbereich von bis zu 600 W und lässt sich leicht auf optimierte Prozessergebnisse einstellen. Die Möglichkeit, einen leistungsstarken Hochspannungsgenerator hinzuzufügen, hilft, das Ätzrezept individuell auf maximale Effizienz anzupassen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS Ätzer enthält auch eine Vielzahl von erweiterten Funktionen wie einen Ionenunterdrücker, Präzisionstemperaturregelung, Zieldruckregelung und ein 3D-Laser-Interferometer für erhöhte Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Diese Funktion hilft, Waferabfälle zu reduzieren und eine zuverlässigere Endproduktqualität zu gewährleisten. Der eingebaute Reiniger hilft auch bei der Reinigung des Wafers zwischen den Verarbeitungszyklen, um die Integrität des Wafers zu erhalten. TOKYO ELECTRON Indy Plus Ätzer ist eine äußerst zuverlässige und kostengünstige Lösung für Halbleiterätz- und Oberflächenreinigungsanwendungen. Es bietet eine All-in-One-Lösung, die höchsten Verarbeitungsanforderungen gerecht wird und gleichzeitig niedrige Betriebskosten aufrechterhält. Die Anlage lässt sich problemlos in bestehende Reinraumautomatisierungssysteme integrieren und eignet sich bestens für volumen- und kostensensible Fertigungsprozesse.