Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670484 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der für die hochgenaue Verarbeitung von Halbleiterscheiben mit hohem Durchsatz ausgelegt ist. Die Ausrüstung ist industrietauglich, mit einem Hochleistungsrahmen für maximale Steifigkeit und Schwingungsdämpfung. Es verfügt über Temperaturregeltechnik, ein Regelsystem und Modulationstemperaturregelung. Das Gerät verfügt außerdem über einen Roboterarm, der das automatische Be- und Entladen von Wafern und Werkstücken ermöglicht. Der Ätzer/Ascher läuft auf einer fortschrittlichen SPS-Software, die eine umfassende Steuereinheit zur Verwaltung von Betriebsabläufen und Minimierung von Produktionsausfallzeiten bietet. Es ist in der Lage, Prozeßwiederholbarkeit und Genauigkeit im Bereich von ± 0.1-0.7um (Mikrometer) für Waferoberflächen bereitzustellen. Die fortschrittliche Dampfätztechnologie von TEL INDYPLUS bietet die Möglichkeit, die Speicherinstabilität zu minimieren und saubere Oberflächen zu schaffen. Das Gerät ist für eine Vielzahl von Ätzprozessen konzipiert: Es kann verschiedene Gase behandeln, variable Ätzraten bereitstellen und ein hochpräzises Ätzen von Mikrostrukturen ermöglichen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS ist EPA-konform und verfügt über modernste Emissionsminderungstechnologien. Dazu gehören strömungsarme und Recycling-Systeme, Plasma-Transformations- und Reinigungssysteme sowie Dual-Leak-Detektoren. Es ist in der Lage, Kontaminanten zu erfassen und zu speichern, so dass sie nicht in die lokale Umgebung gelangen. Die Maschine enthält eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, die das Risiko für Gefahrstoffe minimieren sollen. TOKYO ELECTRON Indy Plus verfügt über ein Backup-Tool, einen Not-Aus-Knopf, ein Belüftungsverbot und eine automatische Überwachung. Das Gerät überwacht kontinuierlich seine Leistung, um Probleme schnell zu erkennen. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS einfach zu bedienen und zu warten. Es ist mit einer Sensorbildschirmmenschenmaschine-Schnittstelle verfügbar, Benutzern erlaubend, sich niederzulassen und das Modell mit der minimalen Anstrengung und Zeit zu kontrollieren. Alle Komponenten sind auch für eine schnelle Wartung und Wartung leicht zugänglich.
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