Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293754740 zu verkaufen
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ID: 293754740
Wafergröße: 12"
Furnace, 12"
Process: TEOS
Atomic Layer Deposition (ALD)
Poly
Nitride
2009-2018 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine anspruchsvolle Ätz- und Ascheplattform, die Anwendern hohe Präzision und Genauigkeit bietet. Es hilft, komplexe Geometrien mit Toleranzen von 0,3-2 Mikrometer zu schaffen. Es ist ideal für die Luft- und Raumfahrt-, Medizin- und Halbleiterindustrie. TEL INDYPLUS ist eine Ätz-/Aschemaschine, die zwei Prozesse für schnelle Ergebnisse in höchster Qualität miteinander integriert. Es kombiniert Ätzen und Aschen in einem einzigen Prozess und ist in der Lage, bis zu zwei Ebenen von Strukturen zu strukturieren. Die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit von TOKYO ELECTRON INDY PLUS kann zwei Hauptkomponenten zugerechnet werden: der E-Gun und dem E-Pod. Die E-Gun verwendet eine Hochspannung, um elektrische Lichtbögen zum Ätzen und Aschen von Mustern auf dem Substrat zu erzeugen. Der Electric Pod hingegen beschleunigt den Prozess und trägt dazu bei, die benötigte Zeit für Etch und Asche erheblich zu reduzieren. Es hilft auch, Ungleichmäßigkeiten im geätzten/ashten Muster zu reduzieren. INDY PLUS verfügt außerdem über eine hohe Genauigkeit der Materialkontrolle, da es mit einer Hochleistungs-CCD-Kamera und Laser-Detektionstechnologie ausgestattet ist. Dies gewährleistet eine hohe Präzision und Genauigkeit, da die Kamera in der Lage ist, subtile Veränderungen wie Ungleichmäßigkeit, Verzug und Spannungsschwankungen zu erkennen. Zusammen machen diese Eigenschaften TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS zu einer der präzisesten und genauesten Ätz- und Aschemaschinen auf dem Markt. INDYPLUS ist auch eine deutlich flexible Maschine, da sie auf die erforderlichen Spezifikationen für eine Reihe von Anwendungen wie Siliziumätzen, geätzte Metalle, Rückwärtsätzen und Prägeätzen zugeschnitten werden kann. Darüber hinaus unterstützt Indy Plus verschiedene Substrate wie Si, Ge, Quarz, Al und SiC, die für weitere Flexibilität sorgen. Die hohe Genauigkeit, exzellente Prozesskontrolle und Flexibilität machen TEL Indy Plus zu einer idealen Wahl für Anwender in der Luft- und Raumfahrt-, Medizin- und Halbleiterindustrie. TOKYO ELECTRON INDYPLUS integriert den Ätz- und Ascheprozess, was zu einem verbesserten Durchsatz führt, während viele der mit dem manuellen Betrieb verbundenen Fehler beseitigt werden. Die erschwinglichen Kosten und das hohe Maß an Genauigkeit verleihen ihr noch mehr Reiz.
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