Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293758842 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293758842
Wafergröße: 12"
Furnace, 12" Process: TEOS 2009-2018 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschermaschine, die zur Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen mit hoher Elementdichte verwendet wird. Das System basiert auf einer Vakuum-Abscheidungssputtereinheit, bei der mit Plasma Metallfilme auf die Waferoberfläche verdampft werden. Die Maschine eignet sich besonders für hochpräzise und ultradichte Schaltungen bei 10x der Auflösung der aktuellen Technologien. TEL INDYPLUS verwendet eine Reihe modernster Technologien, einschließlich des TEL-proprietären Direct Ion Sputtering Moduls (DISM) für hochpräzises Sputtern mit hohem Seitenverhältnis. Darüber hinaus ist das Tool mit einer Reihe fortschrittlicher Technologiemodule und proprietären Softwarepaketen ausgestattet, um verschiedene Ätzprozesse zu unterstützen. Dazu gehört das Pre-Clean-Modul, das die Reinigung der Waferoberfläche vor aufeinanderfolgenden Ablagerungen oder Radierungen ermöglicht; und das Nano-Lith Process Control Module, das Echtzeitsteuerung über den Ätzprozess bietet. TOKYO ELECTRON INDY PLUS verwendet ein Multi-Modul-Asset, das eine Vielzahl von Kombinationen und Konfigurationen ermöglicht. Dies wird mit einem integrierten flexiblen Automationsmodell (FAS) für eine vollautomatisierte Ausrüstung kombiniert. Um die Produktionsvielfalt weiter zu erhöhen, ist das System in der Lage, Geräte mit Linienbreiten von 0,1 Mikrometern (1/10.000 Millimeter) herzustellen, was es für hochpräzise und ultra-niedrige kV-Anwendungen wie 4G- und 5G-Mobiltechnologien wünschenswert macht. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON Indy Plus über eine Reihe integrierter Sicherheitsmerkmale, wie eine verbesserte Umweltkontrolleinheit zur Verringerung von Kontaminationsrisiken sowie ein Low-kV-Design zur Minimierung von Ausfallrisiken. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, eine außergewöhnliche Gleichmäßigkeit auf allen Schichten zu erreichen und gleichzeitig ein konsistentes, hochwertiges Endprodukt bereitzustellen, und ist in der Lage, Metalllinien zu drucken, die mit dem bloßen Auge nicht nachweisbar sind. TEL Indy Plus ist ein hochentwickeltes, zuverlässiges und multifunktionales Ätz-/Asperwerkzeug, das es zu einem unverzichtbaren Fertigungswerkzeug für die Herstellung einer Vielzahl von integrierten Schaltungen macht. Mit seiner überlegenen Ätzpräzision, robusten Sicherheitsmerkmalen und fortschrittlichen Technologien bietet INDYPLUS eine umfassende und benutzerfreundliche Lösung für die Herstellung integrierter Schaltungen.
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