Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293821712 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie und bietet fortschrittliche Ätz- und Aschetechnologie für Halbleiterbauelemente. TEL INDYPLUS ist so konzipiert, dass es hocheffizient und präzise ist und eine Ätzauflösung unter 0,5 nm und eine Genauigkeit von mehr als 5 nm bietet. Es hat eine einzelne Wafergröße von 6 Zoll oder 8 Zoll und kann Filme und Stufen von bis zu 450nm verarbeiten. TOKYO ELECTRON INDY PLUS ist mit motorisierten unabhängigen Vorwärts- und Rückwärtsquerstufen ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit für die Ausrichtung und verbesserte Wiederholbarkeit bieten. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS verwendet eine einzigartige Ätztechnologie namens Volatile Organic Compound-assisted Etching (VOC-ET), eine fortschrittliche Ätztechnologie, die von TEL entwickelt wurde. Die VOC-ET-Technologie ist in der Lage, feinkörnige Silizium- und FinFET-Geräte mit vertikalen Seitenwänden und ausgezeichneten Ätzprofilen zu verarbeiten. Darüber hinaus verwendet TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS eine Extrakt-Speicherkompatibilität, die es Anwendern ermöglicht, Rezepte von früheren Geräten einfach abzurufen. TEL INDY PLUS bietet Benutzern auch die Möglichkeit, Ätz- und Ascherezepte mit proprietärer Software TOKYO ELECTRON anzupassen. TEL Indy Plus ist mit mehreren Prozesskammern ausgestattet, die sowohl das Ätzen als auch das Aschen gleichzeitig und unabhängig voneinander erleichtern. Die Prozesskammern sind mit einer fluorfreien Gasgemisch-Abgabeeinrichtung ausgestattet, die die Prozessemissionen minimieren und gleichzeitig die Ätzleistung maximieren soll. TOKYO ELECTRON Indy Plus ist auch für einfache Wartung und kostengünstige Operationen mit einem automatisierten Medienliefersystem und einer wassergekühlten Abgasanlage konzipiert. INDYPLUS verfügt auch über Remote-Zugriffsfunktionen, mit denen Benutzer Prozesseinstellungen von einem zentralen Ort aus überwachen und anpassen können. Indy Plus wurde entwickelt, um konsistente, qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheprozesse zu liefern und gleichzeitig die spezifischen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Die Maschine hilft, die mit Geräten und Zuverlässigkeitstests verbundene Zeit und Kosten zu reduzieren, sowie bietet erweiterte Prozessfähigkeit für erweiterte Geräteknoten. TOKYO ELECTRON INDYPLUS ist in der Lage, mehrere Substrate und Wafergrößen zu verarbeiten, und ist entworfen, um die höchsten Standards der Produktivität und der Betriebszeit zu erfüllen.