Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828761 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen und -prozessen. Es handelt sich um eine kleinflächige Einzelwafer-Ätz-/Ascheausrüstung, die präzise heterogene Ätz-/Ascheprozesse mit hohem Durchsatz liefert. Der Ätzer/Ascher verfügt über eine kleine 150mm Kammer, die bis zu 100 Wafer aufnehmen kann und in der Lage ist, eine Reihe von Ätz-/Ascheprozessen für verschiedene Materialien aufzunehmen. TEL INDYPLUS Ätzer/Ascher verfügt über ein fortschrittliches Systemdesign, das eine präzise Prozeßwiederholbarkeit der Waferätz- oder Aschegleichförmigkeit über den gesamten Wafer gewährleistet. TOKYO ELECTRON INDY PLUS Ätzer/Ascher verwendet Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasma mit einer Elektronenplasmaquelle, um ein hochgleichmäßiges Plasmaätzen oder -aschen zu ermöglichen. Die Option der Plasmaquelle kann von ECR auf Standard-induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) umgestellt werden. Zusätzlich kann eine erweiterte Piezo-Aktuator- und Wafer-Spin-Option zur weiteren Anpassung des Prozesses an spezifische Anforderungen hinzugefügt werden. Der Ätzer ist mit einer hochwertigen Mineralaufbauschutzeinheit ausgestattet, und die fortschrittliche Wafer-Spin-Steuerung sorgt für einen hochgleichmäßigen Ionenbeschuss, der für ein sehr gleichmäßiges Ätzen/Aschen unerlässlich ist. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS Ätzer/Ascher ist mit einer Vielzahl von Überwachungs- und Steuerungsfunktionen gebaut, die Druck-, Temperatur- und HF-Leistungseinstellungen umfassen, die unabhängig von der Prozesszeit sind. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen, wie Oxidätzen, Nanotexturieren und selektives Ätzen oder Aschen. Die Maschine verfügt außerdem über eine Echtzeit-Anzeige von Ätz-/Ascheprofilen zur einfachen Überwachung der Prozessaktivität. INDY PLUS Ätzer/Ascher ist hochgradig anpassbar und kann auf spezifische Prozessanforderungen konfiguriert werden. Der Ätzer/Ascher ist auf maximale Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt und eignet sich gut für Produktionsvorgänge mit mittleren bis hohen Volumenprozessen. Das Werkzeug ist auch kompatibel mit einer Reihe von Materialien, so dass es ideal für mehrere Prozessanwendungen.